YS/T 1301-2019
氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定气相色谱质谱联用法
Determination of phosphorus oxychloride,phosphorus trichloride in chlorosilanes—Gas chromatography-mass spectrometry method
2020-01-01 实施
2019-08-02 发布
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC 203/SC 2）提出并归口。
1 范围
本标准规定了氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。
本标准适用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的测定。氯硅烷中三氯氧磷的测定范围为 0.3μg/kg～100μg/kg，三氯化磷的测定范围为 3μg/kg～100μg/kg。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 4844 纯氦、高纯氨和超纯氨 GB/T4946 气相色谱法术语
GB/T 33336—2016 高纯工业品三氯氧磷
3 术语和定义
GB/T 4946 界定的术语和定义适用于本文件。