ICS 77.040 H17
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1301-2019
氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定
气相色谱质谱联用法
Determination of phosphorus oxychloride,phosphorus trichloride in chlorosilanes---Gas chromatography-mass spectrometry method
2020-01-01实施
2019-08-02发布
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T13012019
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员
会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。
本标准起草单位：内蒙古盾安光伏科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、新特能源股份有限公司。
本标准主要起草人：齐林喜、姚利忠、侯海波、张艳玲、折科、楚东旭、薛心禄、程远梅、邱艳梅、 YS/T1301—2019
氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定
气相色谱质谱联用法
警告一一使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。
1范围
本标准规定了氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的气相色谱质谱联用的测定方法，本标准适用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的测定。氯硅烷中三氯氧磷的测定范围为
0.3μg/kg~100μg/kg，三氯化磷的测定范围为3ug/kg～100μg/kg。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T4844纯氨、高纯氨和超纯氨 GB/T4946气相色谱法术语 GB/T33336—2016高纯工业品三氯氧磷
术语和定义
3
GB/T4946界定的术语和定义适用于本文件。
4方法原理
将氯硅烷样品经液体进样口导入气相色谱-质谱联用仪（GC-MS)，经毛细管色谱柱将氯硅烷主体和含磷杂质分开，采用全扫描方式定性含磷杂质的存在形式及其保留时间，用外标法选择性离子扫描对氯硅烷中磷杂质进行定量，获得氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的含量。
5干扰因素
5
5.1 测试用的化学试剂应满足一定的纯度要求，纯度较低的试剂对测试结果影响较大，且会造成较大的数据误差。 5.2标准溶液应现配现用，长时间储存会对标准溶液测试数据的准确性造成影响。 5.3环境相对湿度应小于65%，环境湿度太高，易导致氯硅烷的水解及影响液体的进样量，
6试剂和材料
6.1 除非另有说明，分析时均使用符合相关标准的试剂或材料。
1 YS/T1301-2019
62高纯氛烷：磷杂质含量不大干0g 63三氯鲜磷：应符合CB/T338362016中6N级三氧氧磷的规定 6.4三氟化磷：分析纯，含量（质量分数）不小于90.0%，用高纯套气（符合GB/T4844的规定）保护 6.5苯：水含量不大于1mg/L+醇类含量不大于1mg/1
7仪器设备
7.1气相色谱-质谱联用仪（GC-MS)：单位质量分排率优于2M配带PTFE头的10uL的自动进样针。 推荐的分析条件参见附录A 7.2毛细骨色谱柱，VRX或其他能达到同等分离效果的毛细管色谐柱， 7.3注射器，1mL 7.4色清进样瓶，容量2mLe 7.5电子天平：分度值为%0001g
鑫样品
氧硅烧样品应为无色透明，无肉眼可克杂质的液体。
9试验步票 9.1定性扫描
联高纯氢硅烧（62）为剂，用重量法将三氯氧磷6，3和氟化磷<64）配制为约10mg/kg的混合标准落液在气相色谱-质谱联用仪上进行全扫播：确定保留时间，三氟氧磷，三氧化磷在毛细警色谐柱上的典型谐图见附录A 总.2标准曲线的绘制点2.1根据被氧硅烧样品中磷杂质的含量范围，以高纯氧硅烧（%2）为剂，用重量法配制5个覆盖被测磷杂质含盘的三氯氧磷，三氟化磷系殖混合标准溶液。 9.2.2用1mL注射器务别准确吸取1mL苯（6.5）和0.五mL察列标准溶液（多1）置于2mL色谱进样瓶中混，在气相色谱-质谱联用仪上进行测定，在各待测物质的保留时间内选择相应的特征离子，根据特测物质特征高子的响应值及对应待测物质的含量绘制标准曲线，标准曲线的线性相系数应不小于 a.。各待测物质的特征离子（质荷比）魔表1
表1 特测物质的特征离子
智淼三氯氧族三氮化磷
特征房子（质荷比）
158 136
S.3样品测定
用1mL注射器准确吸取JmL苯（6.5和o品mL试样溶液置于&mL色谐进样瓶中混匀，在气相色谱一质道联用仪上进行测定：分别测定出三氟氧磷、三氛化磷的响应值，根据喷应值在标准曲线上查出各被满物质的含量。 2 YS/T1301—2019
10 精密度
10. 1 重复性
在重复性条件下获得的两次独立测试结果的测定值，在表2给出的平均值范围内，这两个测试结果的绝对差值不超过重复性限(r)，超过重复性限（r)的情况不超过5%，重复性限（r)按表2数据采用线性内插法求得。
表2重复性限
三氯氧磷含量
重复性限r μg/kg 0. 24 0. 33 0. 63 2. 83
三氯化磷含量 μg/kg
重复性限r μg/kg 2. 8 0. 82 1. 08 5. 61 7. 8
μg/kg 0. 3 5 10 50 100
3 5 10 50 100
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10. 2 允许差
实验室之间分析结果的差值应不大于表3所列允许差。
表3 允许差
三氯氧磷含量
允许差 μg/kg 0. 34 1. 03 4.10 18.3
三氯化磷含量 μg/kg
允许差 μg/kg 1. 4 1.20 10. 6 24
μg/kg 5 10 50 100
5 10 50 100
11 质量保证和控制
每月应用自制的控制标样（如有国家级或行业级标样时，应优先使用)校核一次本标准分析方法的有效性。当过程失控时应找出原因，纠正错误，重新进行校核。
试验报告试验报告应包含以下内容： a) 样品信息； b) 本标准编号； c) 分析条件参数； d) 分析结果及表示； e) 分析实验室及分析人员； f) 其他异常现象； g) 报告日期。
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3 YS/T1301—2019
附录 A (资料性附录）
气相色谱-质谱联用仪的推荐分析条件及典型谱图
A.1 参考分析条件
气相色谱-质谱联用仪的推荐分析条件如下： a) 色谱柱：DB-VRX毛细管柱； b) 进样口温度：150℃； c) 接口温度：200℃； d) 离子源温度：230℃； e) 柱温（程序升温）：初始温度40℃，保持27min；以25℃/min速度上升到180℃，保持7min； f) 进样量：1μL； g) 脉冲分流，分流比为3：1； h) 气质联用仪进行调谐达到较高的信噪比。
A. 2 典型的谱图
三氯氧磷、三氯化磷在毛细管色谱柱上典型的谱图如图A.1所示。
三氯化磷
三氯氧磷
图A.1 三氯氧磷、三氯化磷在毛细管色谱柱上典型的谱图