YS/T 1300—2019
氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定气相色谱质谱联用法
Determination of methyldichlorosilane,trimethylchlorosilane and methyltrichlorosilane in chlorosilanes—Gas chromatography-mass spectrometry method
2019-08-02 发布
2020-01-01 实施
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC 203/SC 2）提出并归口。
1 范围
本标准规定了氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。
本标准适用于氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的测定，3 种含碳化合物的测定范围均为 0. 1mg/kg～1000mg/kg。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 4844 纯氨、高纯氮和超纯氨
GB/T 4946 气相色谱法术语
3 术语和定义
GB/T 4946 界定的术语和定义适用于本文件。