SJ/T 11487-2015
半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法
Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer
2015- 04 - 30 发布
2015-10- 01实施
前 言
本标准按照GB/T1.1—2009制定的规则起草。
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本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。