JJF 1613-2017
掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
2017-02-28发布
2017-05-28 实施
引言
JJF1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001《通用计量术语及定义》、 JJF 1059.1《测量不确定度评定与表示》和JJF1094《测量仪器特性评定》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列规范。
本规范参考了ISO 16413∶2013《X 射线反射法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度仅器要求、准直和定位、数据收集、数据分析和报告》（Evluation of thickness， density and interfae with of thin flms by X-ay reflectometry-Instrumental requirements, alignment and postioing，dta ollecion，data analysisand repring）的相关内容。
本规范为首次发布。