GB/T 40129-2021/ISO 13084:2018
表面化学分析二次离子质谱飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
Surface chemical analysis—Secondary ion mass spectrometry—Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
(ISO 13084:2018,IDT)
2021-12-01实施
2021-05-21发布
目 次
前言 …………………………………………………………………………………………………………1
引言 …………………………………………………………………………………………………………1
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
4 符号和缩略语 ……………………………………………………………………………………………1
4.1 符号 ………………………………………………………………………………………………… 1
4..2 缩略语 ………………………………………………………………………………………………….2
5 方法概述 …………………………………………………………………………………………………2
6 提高质量准确度的方法…………………………………………………………………………………3
6.1 获取用于优化的参考样品 ………………………………………………………………………… 3
6.2 制备聚碳酸酯样品 ………………………………………………………………………………… 3
6.3 获取SIMS质谱数据 ………………………………………………………………………………3
6.4 计算质量准确度 …………………………………………………………………………………… 3
6.5 优化仪器参数 ……………………………………………………………………………………… 5
6.6 谱图校准程序 ………………………………………………………………………………………7
附录A（资料性） 校准不确定度 ………………………………………………………………………… 9
附录B（资料性） 内部添加法……………………………………………………………………………10
参考文献……………………………………………………………………………………………………12