GB/T 38867-2020
电子工业用四氯化硅
Silicon tetrachloride for electronic industry
2021-02-01实施
2020-07-21发布
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。