GB/T 36053-2018/ISO 16413:2013
X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements,alignment and positioning, data collection,data analysis and reporting (ISO16413:2013,IDT)
2019-02-01 实施
2018-03-15发布
前言
本标准按照GB/T 1.1 2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用ISO16413.2013（X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》。
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本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并归口。