YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法 YS/T 870-2020 纯铝化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 YS/T 34.1-2011 高纯砷化学分析方法电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量 YS/T 1075.14-2023 钒铝、钼铝中间合金化学分析方法 第14部分：痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法 GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 YS/T 1434-2021 六氯乙硅烷组分含量的测定气相色谱法 YS/T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法