GB/T 37049-2018
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法
Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
2019-04-01 实施
2018-12-28发布
本标准按照GB/T 1.1 2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口.