YS/T 1164-2016
硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法
Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
2017-01-01 实施
2016-07-11 发布
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）提出并归口。
1 范围
本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。
2 规范性引用文件
下列文件对干本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T6682—2008 分析实验室用水规格和试验方法
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定