ICS 19.020 CCS G 04
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T49302021/IS014595:2014
代替GB/T4930—2008
微束分析 电子探针显微分析
标准样品技术条件导则
MicrobeamanalysisElectronprobemicroanalysis-
Guidelinesfor the specification of certified reference materials (CRMs)
（ISO14595:2014,IDT)
2021-12-01实施
2021-05-21发布
国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
发布 GB/T4930—2021/ISO14595:2014
目 次
前言引言范围
H
规范性引用文件术语和定义研究材料的制备材料的不均匀性研究材料的稳定性标准样品化学成分的测定标准样品的制备、包装、运输和储存
2
3
5 6
>
8
9标准样品证书附录A（资料性） 不均匀性数据统计评价计算过程示例附录B（规范性） 用于电子探针显微分析用标准样品分级附录C（资料性） 电子探针显微分析标准样品证书范例参考文献
11
12
13 GB/T4930—2021/ISO14595:2014
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件代替GB/T4930一2008《微束分析电子探针分析 标准样品技术条件导则》，与
GB/T4930一2008相比，除编辑性改动外，主要技术变化如下：
a) “研究物质的量必须满足能制备约200套标样”改为“研究材料的数量应足够用于标准样品的
制备”（见4.1，2008年版的4.1）； b) 注改为正文。删除第一段的“基于这些因素，在此并未对抽样样本大小做出详细的规定，以便
分析人员灵活地设计检测程序”（见5.2，2008年版的5.2）； c) 增加了“（或者合适的良好表征的复合试样，在其中重叠不会产生问题）”（见5.3）； d）“对于能谱仪，死时间应设定在30%的位置上”改为“对于能谱仪来说，死时间应约为30%”（见
5.3，2008年版的5.3）； e) “本底”改为“背底”（见5.5，2008年版的5.5）；
S,
S
改为±2
f) 为了纠正印刷错误，将公式土2
+B
n, npn, C2 L(n, -1) +B 改为±3
(n, -1)
2n
S
S
+
+
n,nen.C [(n, -1) +B
将公式土3 年版的5.6）；
（见5.6，2008
n,nn.C L(n, -1)
g）“注”改为“正文”（见附录A，2008年版的附录A）。 本文件使用翻译法等同采用ISO14595：2014《微束分析 电子探针显微分析 斤标准样品技术条件
?
导则》。
本文件由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38)提出并归口。 本文件起草单位：宝武特种冶金有限公司、上海发电设备成套设计研究院有限责任公司、宝山钢铁
股份有限公司、广东省科学院工业分析检测中心。
本文件主要起草人：姚雷、张作贵、胡莹、伍超群本文件于1985年首次发布，1993年第一次修订，2008年第二次修订，本次为第三次修订。
II GB/T4930—2021/ISO14595:2014
引言
电子探针显微分析（EPMA)是通过比较法进行的一种定量分析方法，已在世界上广泛应用，有证标准样品（CRMs)对定量分析准确性有着关键影响。
因此本文件的修订有利于电子探针显微分析的国际交流和分析数据兼容。 本文件规定了如何评价和选择参考物质（RMs)1)，如何评估标准样品不均匀性和稳定性，并给出了
生产EPMA标准样品的化学成分测定方法。
世界上第一项此类标准，是GB4930一1985《电子探针分析标准样品通用技术条件》，该标准由刘永康、林卓然、张宜起草，经全国电子探针分析标准样品标准化技术委员会（全国微束分析标准化技术委员会前身)审查通过报国家标准局（CBS)（为国家技术监督局CSBTS及中国国家标准化委员会 SAC前身）批准发布，于1985年实施。该标准经第一次修订而形成GB/T4930一1993，起草人刘永康、 张宜、林卓然、索志成，由全国微束分析标准化技术委员会审查，国家技术监督局批准，1993年8月 30日发布，1994年7月1日实施。
1993年林卓然将GB/T4930一1993译成英文版，并由国际标准化组织中国委员会（ISO/CS，即 CSBTS)向国际标准化组织微束分析技术委员会电子探针分会（ISO/TC202/SC2)申请立项国际标准。 经国内外同行专家多次修改，报ISO批准，最终形成ISO14595：2003Microbeamanalysis-Electron probe microanalysis-Guidelines for the specification of certified reference materials （CRMs)。按照 GB/T20000.2—2001的规定，等同采用ISO14595以替代GB/T4930—1993，相当于对原标准的修订。 GB/T4930一2008由刘永康、万光权、梁细荣、杨秋剑起草，经全国微束分析标准化技术委员会审查通过，报SAC批准，于2008年10月01日实施。
2014年对ISO14595：2003版进行修订，最终形成ISO14595：2014《Microbeamanalysis-Electron probe microanalysis-Guidelines for the specification of certified reference materials(CRMs)》。按照 GB/T20000.2—2009的规定，本文件等同采用ISO14595：2014以替代GB/T4930—2008，相当于对 GB/T4930一2008的修订。
1） 参考物质（referencematerial,RM)按JJF1001一2011中的相关定义：具有足够均匀和稳定的特定特性的物质，
其特征被证实适用于测量中或标称特性检查中的预期用途。
IV GB/T4930—2021/IS014595:2014
微束分析电子探针显微分析
标准样品技术条件导则
1范围
本文件适用于电子探针显微分析（EPMA)中使用的单相标准样品（有证参考物质，CRMs），并给出了标准样品应用于平整抛光表面显微分析的使用指南。本文件不适用于有机和生物标准样品。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T15000.4一2019标准样品工作导则第4部分：证书、标签和附带文件的内容（ISOGuide 31:2015,IDT)
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
不均匀性 主heterogeneity 从一组试样中测得的元素成分值的变化。 注：不均匀性来自包括对试样与试样之间的测量、每一试样内微米尺度之间的测量，以及检测过程本身的不确
定度。
3.2
研究材料 researchmaterial 在物理和化学特征上满足标准样品的要求，但在认证为标准样品前需要对其细节（包括化学成分、
稳定性以及微区和宏观不均匀性)进行检测的材料。 3.3
稳定性 主stability <通用>试样在常温常压下长期保存时耐化学和物理变化的能力。
3.4
稳定性 stability 材料受到电子束轰击时耐化学成分变化的能力，即试样暴露于电子束期间观测到的耐相
关特征X射线强度变化的能力。 3.5
不确定度 uncertainty 表征合理地赋予被测量之值的分散性，与测量结果相联系的参数。
1 GB/T4930—2021/ISO14595:2014
4研究材料的制备
4.1材料的选择
准备用作标准样品的研究材料应该在微米尺度上显示很少或没有杂质，应不包含多余包裹体（或夹杂物），而且应该足够致密（即使存在空隙等，也应在检测和分析时容易避开），并在较长时间电子束轰击下保持稳定。
制备好的研究材料应具有几个可供作点分析的区域。每个区域的直径应不小于20um，最小也应为大于X射线发射区域的两倍，
研究材料的数量应足够用于标准样品的制备若是合成材料，应提供有关生产工艺的详细资料；若为矿物，则应提供原产地、来源以及分选过程的
说明。 4.2材料的初步检查
应使用双目光学显微镜对可能成为标准样品的研究材料进行初步的检查，籍以评估它含多余的包
裹体（夹杂物）、空隙或其他相的情况。若发现杂质和空隙较多，并足以干扰电子探针对感兴趣的主要相的分析，即无法在主要相的多点上用1um电子束进行清晰采样，那么应该放弃这种材料。
应使用反射光和（或)透射光（金相显微镜和（或)偏光显微镜)在抛光的截面上对试样中可能存在的微细多余包裹体（夹杂物)或其他相实施进一步的检查。若有需要，还应使用电子探针或扫描电镜的二次电子图像和背散射电子图像进行检查。仅当其所含的包裹体（夹杂物)或其他相极易识别，并且附带的文件中已明确注明以便在使用期间避开它们时，这种成分已知并含有包裹体或其他相的材料才能被认为是适用的
经初步检查后确定适用的材料应进一步作不均匀性和稳定性鉴定。
5材料的不均匀性
5.1样品制备
样品在电子束轰击下应是稳定的。标准样品在所需的测试条件下不能产生电荷积累，因而，有时需
要在样品表面上镀导电膜。标准样品应处于这样一个物理状态，即当有必要对其进行镶嵌和抛光处理而置于大气或真空中时表面不会迅速变质
供作标准样品的研究材料应有相同或近似的物理取向。也就是说，假如标准样品被切割或解离以利于分析人员使用其平整的表面做电子探针显微分析，那么研究材料应该使用和获得不均匀性数据同样的方式进行镶嵌。
5.2样本大小
选作检测的试样数量应根据抽样样本组中试样个体的数量、大小和成分而定如果试样数量很大，例如为了便于销售而将试样切割或解离成200块或数目更多外表相近的小块
样，那么全部检测这些试样将耗时过长。可以通过随机选择的方式选取达到具有统计学代表性数量的试样进行检测。考虑到被测元素在统计计数后的不均匀性，如果观测到试样彼此之间和（或）试样中测得的不均匀性大于1%，那么或许需要检测更多的试样。
在为销售而切割其成为更小块试样前只有为数不多的试样（如5块～20块）可供检测，如果制备过程并未以任何方式改变其成分，那么分析分割前的每个试样即可。 2