ICS 77.150.99 H 68
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T937—2013
镍铂靶材
Nickel-platinumtarget
2014-03-01实施
2013-10-17发布
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T 9372013
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员（SAC/TC243)归口。 本标准负责起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院。 本标准参加起草单位：宁波江丰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。 本标准主要起草人：朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、
李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉。 YS/T937—2013
镍铂靶材
1范围
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同 (或订货单)内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
规范性引用文件
2
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1031产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廊法表面粗糙度参数及其数值 GB/T6394 金属平均晶粒度测定法 GB/T14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GJB1580A 变形金属超声检验方法 YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
靶材target 溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式
脱离阴极而在阳极表面沉积。 3.2
靶坏 targetblank 阴极上用作目标材料的部分。
3.3
背板backingplate 用来支撑或固定靶坏的部分。靶材与背板可以通过焊接（如钎焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复合、
粘接等方式连接。
4要求
4.1产品分类 4.1.1 镍铂乾靶材分类按照结构形式分为单体和复合两种，如图1所示。 YS/T 937—2013
靶坏焊接层背板
a) 复合靶材
b) 单体靶材
图1靶材结构示意图
4.1.2 2镍铂靶材分类按照形状分类主要为圆形、矩形和异形（如三角形等）。 4.1.3靶材的背板可包括无氧铜及铜合金、铝合金等。
注：需方有特殊要求时，由供需双方商定。 4.2 牌号表示方法和标记示例
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产品纯度铂含量产品名称
示例：含15%铂，纯度为99.95%的镍铂靶材，表示为NiPt15-99.95。 4.3 化学成分
镍铂靶材的化学成分及杂质元素要求应符合表1规定。 4.4外形尺寸
镍铂靶材尺寸及结构方式一般由需方提供尺寸，由供需双方协商。 4.5 晶粒尺寸
平均晶粒尺寸应不大于100μm，最大晶粒尺寸不大于150μm，并且晶粒分布均匀。 注：需方有特殊要求时，由供需双方协定。
4.6内部质量
镍铂靶材内部不应有分层、夹杂和气孔等缺陷。 4.7 焊接质量
焊接类镍铂靶材分为钎焊和粘接。焊接质量应符合表2的规定，需方如有特殊要求时，由供需双方商定。
2 YS/T 937—2013
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白期
3 YS/T 937—2013
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号牌 YS/T937—2013
表 2 焊接质量要求
焊接方式钎焊粘接
焊接结合率 ≥95% ≥98%
单个未焊合间隙面积占总面积的百分比
≤2% ≤1%
4.8 表面粗糙度
镍铂靶材表面粗糙度Ra值应不大于1.6μm。 4.9 外观质量
镍铂靶材表面应清洁、光滑，无指痕、油污、锈蚀、颗粒附加物和其他沾污。
5 试验方法
5.1 化学成分的分析方法 5.1.1 铂含量不大于15%的分析按附录A执行，铂含量大于15%的分析按附录B执行。 5.1.2 金属杂质元素的分析按附录C执行，其他杂质元素检测由供需双方协商解决。 5.1.3 气体元素C、H、N、O的分析按照GB/T14265的规定执行。 5.2 尺寸检验方法
镍铂靶材的外形尺寸的测量按照GB/T15077的规定进行，还可采用三坐标仪等相应精度设备进行测量。 5.3 晶粒尺寸检验
按照GB/T6394的规定进行观察、评定和确认。 5.4 内部质量检验
按照GJB1580A的规定进行。 5.5 镍铂靶材焊合质量的检验
按YS/T837的规定进行。 5.6 表面粗糙度
由表面粗糙度仪检测，按照GB/T1031的规定进行。 5.7 外观质量
用目视检查，如发现异常现象，在10倍放大镜条件下进行目视检查。 5.8 ：包装质量
用目视检查。
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