ICS 77.160 H 72
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1063—2015
钼草 靶材
Molybdenum target
2015-04-30 发布
2015-10-01实施
发布
中华人民共和国工业和信息化部 YS/T1063—2015
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：西安瑞福莱钨钼有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司、宁波江丰电子材料
股份有限公司、北矿新材科技有限公司、湖南有色新材料科技有限公司、宜兴市科兴合金材料有限公司、 有研亿金新材料有限公司
本标准主要起草人：淡新国、侯军涛、李长亮、苏国平、王学泽、刘家均、李鹏、俞叶、熊晓东
一 YS/T1063—2015
3.5 内部质量
靶材不应有分层、疏松、夹杂和气孔等内部质量缺陷。 3.6 焊接质量
靶材的常规焊接方法是钎焊，要求焊接后焊合面积占总面积的比例不低于95%，单个未焊合面积不超过总面积的2% 3.7 尺寸及其允许偏差
靶材尺寸及其允许偏差应符合供需双方签订的技术图样要求，未注明公差的产品，矩形靶材应符合 GB/T3876要求，管形靶材应符合GB/T17792要求。 3.8 外观质量
靶材表面不允许有过熔、鼓泡、分层、裂纹、嵌人物等缺陷，不允许有条沟、擦伤、氧化和矫直痕迹， 3.9 表面状况
靶材的表面粗糙度Ra应不大于1.6um，有特殊要求的由供需双方协商确定，并在合同（或订货单）中注明。
表 2 靶材化学成分
化学成分
含量（质量分数）/%
Mo Fe Cu Ni Mg Al si W Co Ta Ca Ti Cd s c N 0
99.95 0.005 0.002 0.005 0.002 0.005 0.005 0.030 0.002 0.005 0.002 0.003 0.001 0 0.005 0.010 0.003 0.008
主元素，不小于
杂质元素，不大于
注：钼含量为100%减去表中所列杂质元素实测含量的总和（不包含气体元素）；需方如有特殊要求时，由供需双
方协商确定，并在合同（或订货单）中注明。
2 YS/T1063—2015
表3靶材晶粒尺寸
晶粒尺寸/um
平均值 ≤150
最大值 ≤200
注：需方如有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在合同（或订货单)中注明
4试验方法
4.1 化学成分分析方法
产品的化学成分分析方法按GB/T4325的规定进行。GB/T4325中未包括的元素，其分析方法由供需双方协商确定。 4.2 密度检验方法
产品的密度测定按GB/T4196的规定进行。 4.3 晶粒尺寸的检验方法
产品的晶粒尺寸测定按照GB/T4197的规定执行。 4.4 内部质量检测
产品的内部质量检测按照JB/T4009标准执行。 4.5 焊接质量检测
靶材钎焊质量按照YS/T837规定的方法进行检验。 4.6 尺寸及其允许偏差检验方法
产品外形尺寸及其偏差应用相应精度的量具进行测量， 4.7 外观质量检验
外观质量用目视检验，必要时放大10倍检测。 4.8 表面状况检验
产品的粗糙度检测采用粗糙度测定仪测量
5检验规则
5.1 检查和验收 5.1.1产品应由供方进行检验，保证产品质量符合本标准的要求，并填写质量证明书 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验。检验结果与本标准或订货单（或合同）的规定不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于尺寸及外观质量的异议，应在收到产品之日起1个月内提出；属于其他性能的异议，应在收到产品之日起3个月内提出。如需仲裁，仲裁取样
3 YS/T1063—2015
在需方由供需双方共同进行。 5.2 组批
产品应成批提交验收。每批由同一原料、规格、制造方法和状态的产品组成。 5.3 检验项目及取样
产品检验项目及取样见表4。
表4产品检验项目及取样
检验项目
试验方法的章条号
取样规定
要求的章条号
每批钼靶材化学成分以烧结坏料成分报出，坏料取样时任取一件，在距任一表面深度大于 5mm位置取样1份，取样质量不小于50g（留备样）
化学成分
3.2
4.1
每批产品任取一件，在其任意位置取样（留备样) 烧结靶材取样，每批任取一件，在其任一位置取样；压力加工矩形靶材取样，每批任取一件，取样位置见图1；压力加工管形靶材取样，每批任取一件，取样位置见图2（留备样）
密度
3.3
4.2
晶粒尺寸
3.4
4.3
内部质量焊接质量
逐件检验逐件检验逐件检验逐件检验逐件检验
3.5 3.6 3.7 3.8 3.9
4.4 4.5 4.6 4.7 4.8
尺寸及其允许偏差
外观质量表面状况
3# 口
2#口
口4#
1#口
轧制方向
口 5#
图1 压力加工矩形靶材取样位置示意图
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