ICS17.100 N 11
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T288542012
硅电容式压力传感器
Silicon capacitive pressure sensor
2013-02-15实施
2012-11-05发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T28854—2012
目 次
前言 1 范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4分类与命名
4.1分类 . 4.2命名 .. 5基本参数 5.1测量范围（量程） 5.2工作压力 5.3工作温度范围 6要求 6.1 产品技术条件（详细规范） 6.2 基本性能 6.3 静态性能 6.4 稳定性 6.5 温度影响 6.6 过载（适用时） 6.7 静压 6.8 环境性能 6.9 疲劳寿命（适用时）
..
..
试验方法 7.1 环境条件 7.2 试验前准备 7.3 基本性能 7.4 静态性能 7.5 稳定性· 7.6 温度影响 7.7 过载· 7.8 静压· 7.9环境性能· 7.10疲劳寿命 8 检验规则 8.1检验分类 8.2出厂检验 8.3 型式检验
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1 GB/T28854—2012
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9标志、包装、运输及贮存 9.1产品标志 9.2包装 9.3运输… 9.4贮存附录A（规范性附录） 传感器性能指标的计算方法
A.1 实际工作特性 A.2参比工作直线 A.3满量程输出（Yrs） A.4非线性（SL） A.5 迟滞（） A.6 重复性（ER） A.7 准确度（e) A.8 零点漂移（d,) A,9 零点长期稳定性（r,) A.10 满量程输出漂移（r） A.11 热零点漂移（α) A,12 热满量程输出漂移（β) A.13 振动对传感器零点影响（Z。）
D GB/T28854—2012
前 言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由中国机械工业联合会归口。 本标准起草单位：沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督
检验中心、浙江中控仪表有限公司、吉林化工集团仪表有限责任公司、中国仪器仪表协会传感器分会、中国仪器仪表学会仪表元件分会。
本标准主要起草人：张治国、刘沁、李颗、匡石、徐秋玲、于振毅、丁云、卢宏、刘剑、张娜、刘波、股波。
Ⅲ
GB/T28854—2012
硅电容式压力传感器
1范围
本标准规定了硅电容式压力传感器的术语和定义、分类与命名、基本参数、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及贮存。
本标准适用于硅电容式压力传感器（以下简称传感器）。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T191一2008包装储运图示标志 GB/T2423.1一2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验A：低温 GB/T2423.2—2008 88 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温 GB/T2423.3—2006 J 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Cab：恒定湿热试验 GB/T2423.5—1995电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ea和导则：冲击 GB/T2423.10—2008 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动（正弦） GB/T2423.22—2002 电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验N：温度变化 GB/T2829—2002 周期检查计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB/T7665—2005 传感器通用术语 GB/T7666-2005 传感器命名法及代码 GB/T14479 传感器图用图形符号 GB/T17626.1一2006，电磁兼容试验和测量技术抗扰度试验总论
3术语和定义
GB/T7665一2005界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
基础电容basecapacitance 正负压腔通大气(表压、差压型)或输入为零压（绝压型)时传感器单个电容的输出电容值。
3.2
电容偏差 capacitancedeviation 差动电容式传感器两个基础电容的差值。
3.3
电容增量比 capacitance increasing amount ratio 传感器承受满量程压力时，因压力增加而产生的电容增量的绝对值与其基础电容值的比。
1 GB/T28854—2012
4分类与命名
4.1分类 4.1.1按感受压力类型
按感受压力类型可分为：一差压传感器；一表压传感器；一绝压传感器。
4.1.2按输出信号
按输出信号可分为：
一A类：电量输出型，带信号调理电路的电压或电流： B类：电容输出型，直接电容值输出。
-
4.1.3按敏感电容结构
按芯体敏感电容结构可分为：
单电容式；差动电容式。
4.2命名 4.2.1传感器型号命名应按GB/T7666—2005的规定。 4.2.2传感器的图形符号应按GB/T14479的规定。
5基本参数
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5.1测量范围（量程）
传感器测量范围应符合产品技术条件（详细规范）的规定。除另有规定外，传感器测量范围宜从下列数值中选取：
0，±1×10，±1.3×10，±1.6×10，±2×10，±2.5×10，±3×10，±3.2×10，±4×10， ±5×10*，±6×10，±8×10。
其中n为整数，n=0，±1，士2，士3，… 测量范围的单位为：帕（Pa）、千帕（kPa）、兆帕（MPa）、吉帕（GPa）。
5.2工作压力
传感器工作压力范围应符合产品技术条件（详细规范）的规定。除另有规定外，传感器工作压力范围宜从下列数值中选取：
1×10,1.5×101.6×10,2×10,2.5×10,3×103.2×10,4×10,4.2×10,5×10 6X10*,7.5×10*,9×10"。
其中n为整数，n=0，士1，±2，士3，…。 测量范围的单位为：帕（Pa）、千帕（kPa）、兆帕（MPa）、吉帕（GPa）。
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GB/T28854—2012
5.3工作温度范围
传感器工作温度范围应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 工作温度的下限值优先从下列数值中选取：一55℃，一40℃，一25℃，一20℃，-10℃，0℃ 工作温度的上限值优先从下列数值中选取：50℃，60℃，70℃，85℃，90℃，100℃，125℃，
150℃,175℃。
6要求
6.1产品技术条件（详细规范）
应制定符合标准要求的产品技术条件（详细规范）。传感器应符合产品技术条件（详细规范）规定的所有要求。当本标准的要求与产品技术条件（详细规范）的要求不一致时，应以产品技术条件（详细规范）为准。 6.2基本性能 6.2.1外观
传感器外表应光洁、完好，不应有视觉可见的划痕及其他损伤；焊缝应均匀、光滑；标记应完整、 清晰。 6.2.2外形及安装尺寸
传感器的外形及安装尺寸应符合产品技术条件（详细规范）及产品图样的规定。 6.2.3电气连接
传感器的电气连接应符合产品技术条件（详细规范）及产品图样的规定。
6.2.4重量
传感器的重量应符合产品技术条件（详细规范）的规定。
6.2.5基础电容
传感器的基础电容标称值推荐从下列数值中选取：10pF，25pF，50pF，75pF，100pF，150pF。 基础电容值的允差推荐从下列数值中选取：士5pF，士7pF，士10pF。
6.2.6电容偏差
电容偏差推荐从下列数值中选取≤3pF，≤5pF，≤7pF。 6.2.7电容增量比
传感器的电容增量比推荐从下列数值中选取：20%，30%，40%，50%，60%，70%，75%，80% 电容增量比的允差推荐从下列数值中选取：士5%，土10%。
6.2.8绝缘电阻
传感器的绝缘电阻推荐从下列数值中选取：≥20MQ，≥50Ma，≥100Ma，≥200MQ，≥500Mn。 测量用直流电压值推荐采用：100V，250V,500V，1000V。
3 GB/T28854—2012
6.2.9绝缘强度
对传感器施加50Hz正弦波交流电压1min，应无击穿和飞弧现象。 测量用交流电压有效值应从下列数值中选取：100V，250V，500V，1000V。
6.3静态性能 6.3.1零点输出
传感器的零点输出应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 6.3.2满量程输出
传感器的满量程输出应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 6.3.3满量程输出对称性（适用时）
传感器测量组件为双结构时，其满量程输出对称性应符合产品技术条件（详细规范）的规定。 6.3.4非线性（适用A类）
传感器的非线性应符合产品技术条件（详细规范）的规定。非线性误差推荐从表1中选取。
表1传感器非线性、符合度、迟滞、重复性、准确度等级
准确度 %FS ±0.025 ±0.04 ±0.05 ±0.075 ±0.10 ±0.25 ±0.50 ±1.0
迟游 %FS ≤0.01 ≤0.02 ≤0.02 《0.035 0.05 ≤0.10 ≤0.25 ≤0.5
重复性 %FS ≤0.01 《0.02 ≤0.02 ≤0.035 ≤0.05 ≤0.10 ≤0.25 <0.5
符合度 %FS ≤0.015 ≤0.02 ≤0.03 ≤0.04 ≤0.05 ≤0.15 ≤0.25 ≤0.5
非线性 %FS ≤0.015 ≤0.02 ≤0.03 ≤0.04 ≤0.05 ≤0.15 ≤0.25 ≤0.5
准确度等级
0.025 0. 04 0.05 0.075 0.10 0.25 0.5 1. 0
6.3.5 符合度（适用B类）
传感器的符合度应符合产品技术条件（详细规范）的规定。符合度误差推荐从表1中选取。 6.3.6迟滞
传感器的迟滞应符合产品技术条件（详细规范）的规定。迟滞误差推荐从表1中选取。 6.3.7重复性
传感器的重复性应符合产品技术条件（详细规范）的规定。重复性误差推荐从表1中选取。 6.3.8准确度
传感器的准确度应符合产品技术条件（详细规范）的规定。准确度误差推荐从表1对应的准确度等
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