JB/T 13359-2018
硅谐振式压力传感器
Silicon resonant pressure sensor
2018-04-30 发布
2018-12-01 实施
目 次
前言……………………………………………………………………………………………………………………………………………………1
1 范围…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….1
2 规范性引用文件…………………………………………………………………………………………………………………………….1
3 术语和定义………………………………………………………………………………………………………………………………………1
4 分类与命名……………………………………………………………………………………………………………………………………………1
5 基本参数…………………………………………………………………………………………………………………………2
6 要求 ……………………………………………………………………………………………………………………………3
7 试验方法…………………………………………………………………………………………………………………7
8 检验规则……………………………………………………………………………………………………………………………. 13
9 标志、包装、运输和贮存………………………………………………………………………………………………………….15
附录 A （规范性附录） 传感器性能指标的计算方法………………………………………………………………………………17
表1 传感器准确度、重复性、非线性、符合度、迟滞………………………………………………………………………………4
表2 热零点漂移和热满量程输出漂移…………………………………………………………………………………………………………………5
表3 检验项目及检验顺序………………………………………………………………………………………………………………………14
表 A.1 校准循环次数与包含因子………………………………………………………………………………………………..21
本标准按照 GB/T1.1一2009 给出的规则起草。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会（CMIF/TC17）归口。