ICS_17. 100
GB
N 11
中华人民共和国国家标准
GB/T26807—2011
硅压阻式动态压力传感器
Silicon piezoresistive dynamic pressure sensors
2011-12-01实施
2011-07-29发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T26807-2011
目 次
前言范围
1 2
规范性引用文件 3分类与命名 3. 1 分类 3.2 型号命名与图形符号 4基本参数 4.1 测量范围 4.2 被测压力介质及兼容性 4.3 激励 4. 4 标称桥阻 4. 5 工作介质温度范围 4.6 工作环境温度范围 4.7 补偿温度范围 4.8 存温度范围要求
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5
5. 1 总则 5. 2 外观 5.3 外形及安装尺寸 5. 4 输入阻抗 5. 5 输出阻抗 5.6 负载阻抗 5.7 绝缘电阻 5.8 绝缘强度 5. 9 静态性能 5.10 过载 5.11 零点漂移 5.12 热零点漂移 5.13 热满量程输出漂移 5.14 零点长期稳定性（必要时) 5.15 动态性能 5.16 环境影响特性 5.17 疲劳寿命（必要时） 6试验方法 6.1环境条件 6.2 校准条件 6.3 外观 6.4 外形及安装尺寸
I GB/T26807--2011
6.5 输人阻抗 6.6 输出阻抗 6.7 负载阻抗 6.8 绝缘电阻 6.9 绝缘强度 6.10 静态性能 6.11 过载· 6.12 零点漂移 6.13 热零点漂移， 6.14 热满量程输出漂移 6.15 零点长期稳定性 6.16 动态性能· 6.17 环境影响试验 6.18 疲劳寿命检验规则
4
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7 7.1 检验分类 7.2 出厂检验 7.3型式检验... 8标志、包装、运输及贮存
10 11 11 11 12 12 13 13 13 14 14 15 15 15 16
8.1产品标志· 8.2包装 8.3运输 8.4贮存· 附录A（规范性附录）传感器性能指标的计算方法 A.1 实际工作特性 A.2 参比工作直线 A.3 满量程输出值(Yr.s) A.4 非线性(SL) A.5 迟滞（） A.6 重复性(） A.7 准确度() A.8 零点漂移(d.) A.9 零点长期稳定性(r,) A.10 热零点漂移(α) A.11 热满量程输出漂移(β) A.12 振动对传感器零点影响（Z。） A.13 外磁场对传感器输出的影响（C）
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...16 17 17 17 17
I GB/T26807—2011
前 言
本标准附录A为规范性附录本标准由中国机械工业联合会提出并归口。 本标准起草单位：昆山双桥传感器测控技术有限公司、沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究
中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心。
本标准主要起草人：尤彩红、刘沁、王冰、王文襄、刘波、徐秋玲、徐长伍、唐慧、李延夫
亚 GB/T26807—2011
硅压阻式动态压力传感器
1范围
本标准规定了硅压阻式动态压力传感器的分类与命名、基本参数、要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于硅压阻式动态压力传感器（以下简称传感器）的生产、使用、验收等。
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB/T2423.1一2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验A：低温（IEC60068-2- 1:2007,IDT)
GB/T2423.2—2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温（IEC60068-2- 2:2007,IDT)
GB/T2423.3—2006日 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法讠 试验Cab：恒定湿热试验 (IEC60068-2-78:2001,IDT)
GB/T2423.51995电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验Ea和导则：冲击 (idt IEC 60068-2-27:1987)
GB/T2423.10-2008 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验Fc：振动（正弦） (IEC60068-2-6:1995,IDT)
GB/T2423.15--2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ga和导则：稳态加速度(IEC60068-2-7：1986,IDT)
GB/T2423.22—2002 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法试验N：温度变化 (IEC60068-2-14:1984IDT)
GB/T2829-—2002周期检查计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB/T7666一2005传感器命名法及代号 GB/T14479传感器图用图形符号 GB/T15478压力传感器性能试验方法 JG6242005动态压力传感器
3分类与命名 3.1分类
按感受压力类型分为：表压、绝压、差压。 3.2型号命名与图形符号
传感器型号命名，按GB/T7666一2005的规定命名。 传感器的图形符号，按GB/T14479的规定。
1 GB/T26807-—2011
4基本参数 4.1测量范围
传感器测量范围的上限值推荐从下列数值中选取： ±1.0×10"、±1.6×10*、±2.0×10*、±2.5×10"、±3.0×10*、±4.0×10"、±5.0×10*、±6.0×
10、士8.0×10*。其中n=0、1、2、3。也可以按用户特定要求设定。下限值若无特殊要求则为零。 测量范围的单位为帕（Pa）、千帕（kPa）、兆帕（MPa）、吉帕（GPa）。 4.2被测压力介质及兼容性
介质类型：气体、液体。 介质性质：导电性、蚀性、放射性。 必要时给出与被测介质接触的传感器结构材料的名称、牌号和兼容性。
4.3激励 4.3.1恒压激励
传感器采用恒压激励时，直流激励电压的数值从下列数值中选取：3V、5V、6V、9V、10V、12V、 15V、18V、24V、36V。激励可采用单电源，也可采用双电源方式。
传感器用于高频动态压力测量时，激励电源宜采用线性电源。 4.3.2恒流激励
传感器采用恒流激励时，直流激励电流的数值从下列数值中选取：0.5mA、0.8mA、1mA、 1.2mA.1.5mA、2mA.3mA.5mA,10mA。 4.4标称桥阻
传感器桥阻的标称阻值从下列数值中选取：350α、600、1kQ、2kQ、3ka、4ka、5ka、8kn、 10kΩ，标称桥阻的允差用其阻值的百分数表示，宜采用下列数值：士10%、土25%、士40%。 4.5工作介质温度范围
传感器工作介质温度的下限值优先从下列数值中选取：一60℃、55℃、一45℃、一40℃、一30℃、 -25℃、-20℃、-10℃、0℃。
传感器工作介质温度的上限值优先从下列数值中选取：50℃、60℃、70℃、85℃、100℃、125℃、 150℃、180℃、200℃、250℃、300℃、350℃、400℃、450℃。 4.6工作环境温度范围
传感器工作环境温度的下限值从下列数值中选取：一55℃、一25℃、一10℃、0℃。 传感器工作环境温度的上限值从下列数值中选取：50℃、60℃、70℃、85℃、100℃、125℃。
4.7补偿温度范围
传感器补偿温度的下限值优先从下列数值中选取：55℃、一40℃、一25℃、一20℃、-10℃、0℃。 传感器补偿温度的上限值优先从下列数值中选取：50℃、60℃、70℃、85℃、100℃、125℃、150℃、
200℃、250℃。 4.8贮存温度范圃
贮存温度范围的下限温度通常等于或低于下限工作环境温度10℃，贮存温度范围的上限温度通常等于或高于上限工作环境温度10℃～20℃。 5要求 5.1总则
传感器应符合本标准与详细规范的规定。
2 GB/T 26807—2011
5.2外观
传感器的外观应无明显的瑕疵、划痕、锈蚀和损伤；螺纹部分应无毛刺；标志应清晰完整、准确无误。 超高频响的壁面反射型及自由场型产品敏感受力膜片应与外端面齐平，无明显凹凸及腔室结构，自由场型产品流线型应光滑平整。 5.3外形及安装尺寸
传感器的安装密封方式对动态特性有很大的影响，传感器的外形及安装尺寸应符合详细规范的规定，按类型及产品结构由制造商在产品使用说明书中给出适用的安装密封方式。 5.4输入阻抗
传感器的输入阻抗应符合详细规范的规定。无内置信号调理电路时，从下列数值中选取： 350Q600Q.1km.2k.3kΩ.5km.10km.20km。
5.5输出阻抗
传感器的输出阻抗应符合详细规范的规定。无内置信号调理电路时，从下列数值中选取： 250α、350a.5002600Q、1km.2km3km、5km
5.6负载阻抗
传感器的负载阻抗应符合详细规范的规定。 5.7绝缘电阻
传感器的绝缘电阻值从下列数值中选取：50MQ、100Mα、200MQ、500MQ。 测量绝缘电阻所用直流电压从下列数值中选取：50V、100V、125V、250V、500V。
5.8绝缘强度
测量绝缘强度，用频率为50Hz正弦交流电压测试，传感器应无击穿及飞弧现象。测试电压从下列
值中选取：50V、110V、220V、380V、500V。 5.9静态性能 5.9.1零点输出
无内置信号调理电路时，零点输出从下列数值中选取：在士1mV、士2mV、土5mV、土10mV、土25mV 范围内；有内置信号调理电路时，零点输出从下列数值中选取：应小于1%F.S、2%F.S、5%F.S。 5.9.2满量程输出
传感器的满量程输出应符合详细规范的规定。无内置信号调理电路时，从下列数值中选取： 30mV.50mV.75mV.100mV.150mV. 5.9.3非线性
传感器的非线性应符合详细规范及表1的规定。 5.9.4迟滞
传感器的迟滞应符合详细规范及表1的规定。 5.9.5重复性
传感器的重复性应符合详细规范及表1的规定。
5.9.6准确度
传感器的准确度应符合详细规范及表1的规定。
表1传感器准确度等级、非线性、迟滞、重复性非线性
退滞 %F. S ≤0. 025 《0.05 ≤0.10
重复性 %F.S ≤0.025 0.05 《0.10
准确度 %F.S ± 0. 05 ±0.1 ±0.25
准确度等级
%F.S ≤0.025 ≤0.05 《0.10
0. 05 0. 1 0. 25
3 GB/T26807-2011
表1 (续) 滞 %F. S 《0.25 N0.5 1.0 ≤2.5
非线性 %F.S ≤0.25 0.5 ≤1.0 《2.5
重复性 %F.S ≤0.25 0.5 ≤1.0 ≤2.5
准确度 %F.S ± 0. 5 ±1. 0 ±2.5 ± 5. 0
准确度等级
0. 5 1. 0 2. 5 5. 0
5.10 过载
传感器的过载应符合详细规范的规定。过载恢复后的具体要求，应符合相应准确度等级的要求。 5.11零点漂移
传感器在规定时间内的零点漂移应符合详细规范的规定规定时间从下列时间中选取：4、8、24、72、120，单位：小时（h）。 无内置信号调理电路时，漂移量从下列值中选取：小于0.05mV、0.1mV、0.2mV、0.3mV、0.5mV。 有内置信号调理电路时，漂移量从下列值中选取：小于0.05%F.S、0.1%F.S、0.25%F.S。
5.12 2热零点漂移
传感器的热零点漂移应符合详细规范及表2的规定。 5.13 热满量程输出漂移
传感器的热满量程输出漂移应符合详细规范及表2的规定
表2热零点漂移和热满量程输出漂移
热零点漂移 %F. S/℃ ±0. 01 ± 0. 03 ±0. 04 ± 0.05 ±0.08 ±0.10 ±0. 20
热满量程输出漂移
准确度等级 0. 05
%F. S/C ±0.01 ±0, 03 ± 0. 04 ±0.05 ±0.08 ±0.10 ± 0. 20
0. 1 0. 25 0. 5 1. 0 2. 5 5. 0
5. 14 零点长期稳定性（必要时）
在规定的时间（一般为半年或 一年）内，传感器零点长期稳定性应符合详细规范的规定。 5.15 动态性能 5.15.1频率响应
传感器的频率响应应符合详细规范的规定。 5.15.2谐振频率
传感器的谐振频率应符合详细规范的规定。 5.15.3自振（振铃）频率
传感器的自振（振铃）频率应符合详细规范的规定。 5.15.4上升时间
传感器输出响应的上升时间应符合详细规范的规定。 5.15.5过冲量（必要时）
传感器输出的过冲量应符合详细规范的规定。
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