ICS 81.040. 30 Q 35 备案号：34408--2012
JC
中华人民共和国建材行业标准
JC/T 2064—2011
半导体用透明石英玻璃棒
Transparent quartz glass rods for semiconductor
2011-12-20 发布
2012-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T 2064-2011
前 言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。 本标准负责起草单位：久智光电子材料科技有限公司。 本标准参加起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。 本标准主要起草人：宋维宁、吴洁、王春玲、张锦。 本标准为首次发布。
I JC/T2064—2011
半导体用透明石英玻璃棒
1范围
本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒（以下简称石英玻璃棒）的术语和定义、分类和标记、要求、 试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。 治金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准执行。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 GB/T4121石英玻璃热变色性试验方法 GB/T107012008石英玻璃热稳定性试验方法 GB/T12442石英玻璃中羟基含量检验方法 JC/T597-2011半导体用透明石英玻璃管
3术语和定义
JC/T597界定的术语和定义适用于本文件。
4分类和标记
4.1分类
按用途分为太阳能级石英玻璃棒(T级)和电子级石英玻璃棒(D级)。 4.2标记
产品按分类（T或D)、产品名称、产品规格、生产批号、标准编号的顺序标记示例：符合JC/T2064—2011，直径为20mm，长度为1000m，生产批号为20091221的太阳能级透明石英玻璃棒
标记为：
T-石英玻璃棒-20×1000-20091221-JC/T2064—2011
5要求
5.1规格尺寸及尺寸公差 5.1.1直径及直径公差
1 JC/T20642011
直径及直径公差应符合表1的规定。
表1
单位为毫米
直径范围 8≤<16 16≤Φ<20 20≤<30
直径公差 ±0.3 ±0.5 ±0.8
注：特殊规格的石英玻璃棒，由供需双方商定。 5.1.2长度公差
应小于等于5mm。 5.1.3椭圆度
不应大于直径公差的绝对值。 5.1.4弯曲度
不应超过棒长的0.1%。 5.2外观质量
外观缺陷应符合表2的规定。各项外观指标均对每米石英玻璃棒而言。
表2
外观缺陷
要求不计 <5个不允许不允许允许有3条不允许不允许不允许
中<0.3m 0.3mm≤≤0.5mm
气泡
>0.5mm
破皮气泡
≤1m >1 mm
气线
长度
破皮气线色线等其他缺陷
5.3理化性能 5.3.1 杂质元素含量 5.3.1.1T级石英玻璃棒
2 JC/T2064—2011
T级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钻、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含量应小于等于30.00×10，其中：铁含量应不大于1.50×10*，钛含量应不大于3.00×10"，铜含量应不大于0.80×10，硼含量应不大于0.20×10，锂、钠、钾总含量应不大于5.00×10°。 5.3.1.2D级石英玻璃棒
D级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钻、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含量应不大于25.00×10*，其中：铁含量应不大于0.80×10，钛含量应不大于2.00×10，铜含量应不大于0.50×10*，硼含量应不大于0.10×10，锂、钠、钾总含量应不大于2.50×10*。 5.3.2羟基含量
应不大于220×10。 5.3.3热稳定性
石英玻璃棒在1200℃土5℃下保温20min，置于20℃士5℃的空气中冷却，试验三次，不应出现裂纹、缺口或崩落（切、磨口处小于3mm的断面崩落不计）。 5.3.4热变色性
石英玻璃棒在1200℃土5℃下保温2h，在290nm波长处热处理前、后的透射比变化平均值△T应小于等于4%。 5.3.5抗析晶性
石英玻璃棒在1400℃±5℃下保温6h，析晶层平均厚度应小于等于80um。
6试验方法
6.1规格尺寸及尺寸公差 6.1.1直径、直径公差及椭圆度
用分度值不大于0.02mm的游标卡尺等量具进行测量。 测量石英玻璃棒两端及中部的直径，同一截面上测量点不少于3个，取所有测量数据中的最大值减
公称直径所得代数差为直径上公差，最小值减公称直径所得代数差为直径下公差。同一截面上最大值减最小值，其差值的最大值为椭圆度值。 6.1.2长度
用分度值为1mm的钢直尺或钢卷尺沿长度方向测量最短处和最长处。 6.1.3弯曲度
将石英玻璃棒放在准确度不低于2级的平台上，使两端紧贴平台转动石英玻璃棒，用分度值不大于 0.02mm的塞尺测量石英玻璃棒与平台之间的最大间隙，用最大间隙值再除以公称长度。 6.2外观质量
将石英玻璃棒平行放于两支额定功率不低于36W荧光灯下，石英玻璃棒与光源距离不超过600mm 采用黑色衬底，进行目测检验，必要时可用分度值不大于0.02mm的游标卡尺等量具进行测量。
3