ICS 81.040.30 Q 35 备案号：34411—2012
JC
中华人民共和国建材行业标准
JC/T179-2011
代替JC/T179-1981,JC/T226—1981
透明石英玻璃
Transparent quartz crucibles
2011-12-20 发布
2012-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T179--2011
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替JC/T179—1981《QSG1、QSG2透明石英玻璃埚》和JC/T226—1981《QSG3透明石英
玻璃埚》。与JC/T179-1981和JC/T226一1981相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：
本标准将JC/T179—1981和JC/T226-1981进行合并；一增加了术语和定义（见第3章）；一增加了产品分类（见第4章)；一修改了对QSG1、QSG2、QSG3石英埚十三种杂质元素总含量的要求（见5.3.1，1981年版的第 1章)；一增加了检验规则（见第7章）；一增加了对标志、包装、运输和贮存的要求（见第8章）。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。 本标准主要起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院。 本标准主要起草人：张浩运、吴洁、杨学东、郑丽英。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： —JC/T179—1973、JC/T179—1981;
—JC/T2261981。
I JC/T 1792011
透明石英玻璃地埚
1范围
本标准规定了QSG1、QSG2和QSG3三种透明石英玻璃的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体工业生产单晶硅用的透明石英玻璃地。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 GB/T5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法 GB/T10701石英玻璃热稳定性试验方法 JC/T1048—2007单晶硅生长用石英埚
3术语和定义
JC/T1048界定的术语和定义适用于本文件。
4分类
透明石英玻璃埚分为三类： —QSG1高纯透明石英玻璃埚 QSG2透明石英玻璃埚；一QSG3内涂层高纯透明石英玻璃。
5技术要求
5.1规格尺寸 5.1.1QSG1、QSG2透明石英玻璃的形状和规格尺寸及偏差符合图1及表1的规定。
1 JC/T179—2011
说明：厚度： D—外径： R——底半径：
一高度。
h-
图1透明石英玻璃埚
表1 QOSG1、 QSG2透明石英玻璃规格尺寸及偏差
单位为毫米
外径 D 80-0
高度 h 60
底半径 R
厚度范围
同一横截面的厚度公差
D-1 2 D-1
2.0~2.8
0. 3
90-8 100 106 114 130 3 注：外径D>130m的埚的规格尺寸及偏差由供需双方商定。 5.1.2QSG3内涂层高纯透明石英玻璃的形状和规格尺寸及偏差符合图1及表2的规定。
70 80 90
2.0~2.8
0. 3
2
D-2 2 D-1
2.0~2.8
0. 3
'0.3
2.0~2.8
D-1
75±2
2.0~2.8
0. 3
2 D-!
110±2
2.0~2.8
0. 4
2
2 JC/T179—2011
表2 QSG3内涂层高纯透明石英玻璃规格尺寸及偏差
单位为毫米
底半径 R
外径 D
高度 H 60±2 70±2 80±3 90±3 75±3 110±3
厚度 2.0±0.5 2.0±0.5 2.3±0.5 2.3±0.5 2.3±0.5 2.5±0.5
同一横截面的厚度公差
今 2 D-2 D-2 D-2 2 P
802 90-8g 100-0 106-21 11421 130-91
0. 3 0. 3 0. 3 0. 3 0. 3 0.4
D-1
2 2
5.2外观质量 5.2.1 QSG1、QSG2埚按外观质量分为一级和二级，并应符合表3的规定。
表3 QSG1、QSG2外观质量
外观指标
项目直径/mm
一级 0.1~0.2 0.1~0.3 ≤2 0.5~3.0 0.3~2.0 ≤5 1~2 1~3 ≤2 0.1~1.0 0.1~0.3 ≤2 不允许不允许不允许
二级 0.3~0.4 0.3~0.7 ≤4 1.0~7.0 0.5~3.0 ≤8 1~4 2~4 ≤4 0.2~1.5 0.2~0.5 ≤4 ≤13 ≤0.3 ≤2 ≤3
弧度部分直线部分
气泡
允许数量/（个/100cm）
丝状长径/mm 点状直径/
气泡群
允许总数/（个/100cm）
弧度部分直线部分
长径/mm
暗疤
允许数量/（条个/100cm）
丝状长径/m 点状直径/mm
色斑
允许总数/（个/100cm）
掀痕直径/mm 掀痕深度/mm
掀痕
D100mm以下埚 D101mm~D130mm地
掀痕数量
3