ICS 81.040.30 Q 35 备案号：34407—2012
JC
中华人民共和国建材行业标准
JC/T1812011
代替JC/T181-1981(1996)
半导体用透明石英玻璃器件
Transparent quartz glass devices for semiconductor
2012-07-01实施
2011-12-20发布
中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T181—2011
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替JC/T1811981（1996）《QSY、DSY透明石英玻璃仪器》。与JC/T181—1981（1996)相
比，除编辑性修改外主要技术变化如下：
标准名称改为《半导体用透明石英玻璃器件》：一增加了术语和定义（见第3章）；一增加了分类和标记（见第4章）。 修改了材料要求（见第5章，1996年版的第1章）；增加了规格尺寸及尺寸偏差要求（见6.1)；一修改了外观质量要求（见6.2，1996年版的第3章）；一修改了应力要求（见6.3，1956年版的第2章）；一增加了试验方法（见第7章）； -增加了检验规则（见第8章）：一增加了对标志、包装、运输和贮存的要求（见第9章）。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447)归口。 本标准主要起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院。 本标准主要起草人：吴洁、杨晓会、刘坚。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
—JC/T181-—1973、JC/T181—1981(1996)。 JC/T181—2011
半导体用透明石英玻璃器件
1范围
本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶和透明石英清洗缸等。
其他用途的透明石英玻璃器件可参照本标准执行。
2# 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
JC/T597—2011半导体用透明石英玻璃管 JC/T2064—2011半导体用透明石英玻璃棒
3术语和定义
JC/T597一2011界定的术语和定义适用于本文件。
4分类和标记
4.1分类
按用途分为太阳能级透明石英玻璃器件（T级）和电子级透明石英玻璃器件（D级）。 4.2标记
产品按分类（T或D）、名称、规格、生产批号和标准编号的序号标记。 示例：符合JC/T181一2011，外径为305mm，长度为2000mm，生产批号为20090710的电子级透明石英玻璃扩散
管标记为：
D-扩散管-305×2000-20090710-JC/T181-2011
5·材料
5.1透明石英玻璃器件所用石英管、石英棒应符合JC/T597—2011及JC/T2064—2011中对应的T级或D级产品的要求。 5.2透明石英玻璃器件所用石英板应无肉眼可见的气泡、气线、划痕等外观缺陷，杂质元素含量应符合JC/T597一2011中对应的T级或D级产品的要求。
I JC/T181-2011 6要求
6.1规格尺寸及尺寸偏差
由供需双方商定。 6.2外观质量 6.2.1所有接口的焊点应结实、牢固，接缝应平滑、无堆料、无变形。 6.2.2不允许有析晶、炸裂、云雾、色斑、水迹、脏物；掀痕应无明显凸凹不平、光滑平整。 6.2.3在平台上放置不应有明显歪斜、晃动，外形应均匀对称。 6.2.4磨口不允许有亮面。 6.3应力
透明石英玻璃器件在应力仪中观察只允许呈现均匀紫红色。 6.4磨口密封性
透明石英玻璃器件盛水后不渗出。
7试验方法
7.1规格尺寸及尺寸偏差
采用分辨率不低于被测参数允许公差的三分之一的仪器或设备。 7.2外观质量
在自然光下，采用自测检查。 7.3应力
将产品平放在于涉色为紫红色的应力仪视场中，移动或旋转试样，使视场中出现亮度最大的干涉色，观察试样各部位的颜色。 7.4磨口密封性
将水盛入磨口透明石英玻璃器件中，在不涂油脂的情况下，将塞塞紧，使水完全浸润磨口，20S 后，用滤纸擦拭，观察水液是否渗出。
8检验规则
8.1检验项目
按第6章的要求。 8.2判定规则
每件产品均需符合第6章中的所有要求，若有一项不合格，则判该件产品不合格。
2 JC/T181—2011
9标志、包装、运输和贮存
9.1标志 9.1.1 每批产品出厂时应附有产品合格证书，内容包括：
a) 产品分类(T或D)、产品名称： b) 产品规格： c) 生产批号： d) 标准代号； e) 检验员编号。
9.1.2 包装箱上应有储运图示标志，如“玻璃制品”、“小心轻放”、“请勿倒置”、“防潮”等字样或图形以及产品标记、厂名或商标。 9.2包装
产品在洁净环境下先单件包装，包装应满足防护、防尘的要求，避免产品的划伤、破损及污染。单件包装后如需再集装时，包装也应满足防护、防尘的要求。产品包装随箱放入产品合格证及装箱单。装箱单应注明数量或重量、装箱日期等。 9.3运输
在运输及搬运过程中要注意轻拿轻放，应有防雨措施。 9.4贮存
产品应贮存在无有害气体、干燥清洁的室内。
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