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JC/T 1048-2018 单晶硅生长用石英坩埚

资料类别:行业标准

文档格式:PDF电子版

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资料语言:中文

更新时间:2024-01-15 17:29:55



推荐标签: jc 单晶硅 石英 1048 坩埚

内容简介

JC/T 1048-2018 单晶硅生长用石英坩埚 ICS 81.040.30 Q 35
JC
中华人民共和国建材行业标准
JC/T 1048—2018 代替JC/T1048—2007
单晶硅生长用石英珀
Fused quartz crucibles for single crystal silicon growth
2018-10-22发布
2019-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T1048—2018
前言
本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。 本标准代替JC/T1048--2007《单晶硅生长用石英埚》。与JC/T1048—2007相比,除编辑性修
改外主要技术变化如下:
一修改了尺寸偏差要求(见5.1,2007年版的6.1); -增加了端口透明层厚度(见5.2);修改了外观质量要求(见5.3,2007年版的6.2);修改了T级石英埚杂质含量要求(见5.4,2007年版的6.3.1);修改了耐热性要求(见5.6,2007年版的6.3.3);增加了直壁壁厚偏差、弯弧壁厚偏差、底部壁厚偏差和高度偏差试验方法(见6.1.2、6.1.3、 6.1.4和6.1.5,2007年版的7.1);增加了端口透明层厚度试验方法(见6.2)。
本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。 本标准起草单位:中国建材检验认证集团股份有限公司、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中
心、中国建筑材料科学研究总院有限公司。
本标准主要起草人:王京侠、吴洁、张浩运、刘焕敏、杨晓会、杨学东、邵竹锋、王慧、肖颂华。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
JC/T10482007。
I JC/T1048—2018
单晶硅生长用石英埚
1范围
本标准规定了单晶硅生长用石英埚(以下简称石英埚)的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于用高纯石英砂做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英埚。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 JC/T2205石英玻璃术语
3术语和定义
JC/T2205界定的术语和定义适用于本文件。
4分类和标记
4.1分类
按用途分为太阳能级石英埚(T级)和半导体级石英埚(B级)。 4.2 2标记
由产品简称、类别(T级或B级)、标称外径、批号和标准代号五部分组成。 示例:标称外径为305mm、批号为20161220的太阳能级石英埚,标记为:
石英锅-T级-305-20161220-JC/T1048—2018
5要求
5.1尺寸偏差 5.1.1石英埚的外形示意图见图1。
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