JF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1894—2021
半导体管特性图示仪校准仪校准规范
Calibration Specification for Calibrators of Semiconductor Curve Tracers
2021-02-23发布
2021-08-23实施
国家市场监督管理总局发布 JJF1894—2021
半导体管特性图示仪
校准仪校准规范
JJF 1894—2021 代替JJG838—1993
Calibration Specification for Calibrators
of Semiconductor CurveTracers
归口单位：全国无线电计量技术委员会主要起草单位：中国电子技术标准化研究院参加起草单位：北京市科通电子继电器总厂有限公司
中国计量科学研究院
西安微电子技术研究所
本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释 JJF1894—2021
本规范主要起草人：
李 洁（中国电子技术标准化研究院）刘 冲（中国电子技术标准化研究院）张珊 (中国电子技术标准化研究院)
参加起草人：
曹玉峰（北京市科通电子继电器总厂有限公司）高英（中国计量科学研究院）饶张飞 （西安微电子技术研究所） JJF1894—2021
目 录
引言 1
(Ⅱ) (1) (1) (1) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (6) (6) (7) (10) (13) (20)
范围. 概述··
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3计量特性· 3.1输出部分· 3.2取样电阻. 3.3测量部分.· 4校准条件 4.1环境条件。 4.2 校准用设备 5校准项目和校准方法 5.1校准项目 5.2 校准方法
校准结果表达· 复校时间间隔·
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附录A原始记录格式附录 B 校准证书内页格式附录 C 主要项目校准不确定度评定示例附录D 半导体管特性图示仪校准仪端口定义
- JJF1894—2021
引言
本规范依据JJF1071一2010《国家计量校准规范编写规则》和JJF1059.1一2012 《测量不确定度评定与表示》编写。
本规范在JJG838一1993《晶体管特性图示仪校准仪》基础上进行修订。与 JJG838一1993相比，除编辑性修改外，主要技术变化如下：
将规范名称修改为《半导体管特性图示仪校准仪校准规范》；修订了校准项目；
一增加了阶梯电压表的校准方法；一增加了阶梯电流表的校准方法；
增加了脉冲电流表的校准方法；
-
附录中给出了电平测量的不确定度评定方法（见附录C）；
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附录中给出了半导体管特性图示仪校准仪端口定义（见附录D）。 本规范的历次版本发布情况：
JJG838—1993。
II JJF1894—2021
半导体管特性图示仪校准仪校准规范
1范围
本规范适用于半导体管特性图示仪校准仪的校准。
2概述
半导体管特性图示仪校准仪（以下简称图示仪校准仪）是通过提供标准电压源、标准电流源等标准信号对半导体管特性图示仪进行校准的专用校准仪器。目前主要有两种类型：阶梯归一化图示仪校准仪和阶梯采样测量图示仪校准仪。阶梯归一化图示仪校准仪内部采用阶梯归一化比较法对图示仪进行校准，阶梯采样测量图示仪校准仪内部采用阶梯采样测量法对图示仪进行校准。
3计量特性 3.1输出部分 3.1.1直流电压
a）输出范围：0.01V~5000V； b）最大允许误差：士（0.3%~3%）。
3.1.2直流电流
a）输出范围：10nA～10A； b）最大允许误差：士（0.3%～3%）。
3.2取样电阻
a）范围：0.005Q~10MQ； b）最大允许误差：士（0.3%～1%）。
3.3测量部分 3.3.1阶梯电压归一化变换
a）V.电压变换范围：0.1V～20V； b）最大允许误差：士0.3%。
3.3.2阶梯电流归一化变换
a）I。电流变换范围：10uA～20A； b）最大允许误差：士0.3%。
3.3.3偏差表
a）量程范围：±（3%10%）； b）最大允许误差：士0.5%。
3.3.4阶梯电压指示
a）V。电压变换范围：0.01V/阶～10V/阶； b）最大允许误差：士（0.3%～1%）。
1 JJF1894—2021
3.3.5阶梯电流指示
a）I，电流变换范围：0.1uA/阶～10A/阶； b）最大允许误差：士（0.5%～1.5%）。
3.3.6脉冲电流指示
a）电流测量范围：10A～1000A； b）最大允许误差：士（0.5%～1.5%）。 注：以上技术指标不作合格性判别，仅提供参考。
4 校准条件
4.1环境条件 4.1.1环境温度：（23士5）℃。 4.1.2相对湿度：≤75%。 4.1.3电源要求：（220±11）V；（50±1）Hz。 4.1.4周围无影响仪器正常工作的干扰和机械振动。 4.2校准用设备 4.2.1数字多用表
直流电压测量范围：士（0.01V～1000V），最大允许误差：士0.05%；直流电流测量范围：士（1mA～10A），最大允许误差：土0.1%；电阻测量范围：10Q2～10MQ，最大允许误差：士0.1%。
4.2.2微欧计
电阻测量范围：0.005Q2～102，最大允许误差：士0.1%。 4.2.3静电计
直流电流测量范围：士（10nA1mA），最大允许误差：士0.3%。 4.2.4数字化仪
直流电压测量范围：士（0.1V～10V），最大允许误差：土0.3%：带宽：≥100kHz；采样速率：≥1×105Sa/s。
4.2.5高压分压器
电压范围：1000V～5000V，分压比：100：1～1000：1，直流最大允许误差： ±0.1%。 4.2.6直流标准电压源
直流电压输出范围：土（0.1V100V），最大允许误差：土0.05%。 4.2.7直流标准电流源
直流电流输出范围：1uA～2A，最大允许误差：士0.05%。
4.2.8脉冲电流源
脉冲电流输出范围：5A～1000A，最大允许误差：士（0.2%～1%）；脉冲宽度：300us；平坦度：0.3%。
4.2.9脉冲分流器
阻值：0.0052、0.012、0.12，最大允许误差：±（0.3%~0.1%）；
2 JJF1894—2021
功率：≥10W；带宽：≥10kHz 注：电阻的选取原则为1V≤（IXR）≤10V。
5 校准项目和校准方法
5.1 校准项目
校准项目见表1。
表1# 校准项目表
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9
校准项目
直流电压源直流电流源取样电阻
输出部分
取样电阻
阶梯电压归一化变换阶梯电流归一化变换
偏差表阶梯电压表阶梯电流表脉冲电流表
测量部分
5. 2 校准方法 5.2.1外观及工作正常性检查
图示仪校准仪应外观完好、配套附件齐全，各开关、按键等应安装牢固、调节正常，无影响电气性能的机械损伤。将检查结果记录于表A.1中。
通电前，调整图示仪校准仪各开关旋钮应置于初始位置或安全位置，偏差表置于关断位置，校准前，图示仪校准仪及校准用设备应按规定时间进行预热。 5.2.2直流电压源 5.2.2.1当图示仪校准仪输出电压范围≤1000V时，仪器连接如图1所示。
数字多用表
图示仪校准仪
图11000V及以下直流电压源校准
5.2.2.2将数字多用表置于“DCV”测量功能，分别测量图示仪校准仪各挡位直流电压输出值，读取数字多用表的电压测量值，并记录于表A.2中。 5.2.2.3当图示仪校准仪输出电压范围>1000V时，按图2进行连接，
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