JJF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1895—2021
半导体器件直流和低频参数
测试设备校准规范
Calibration Specification for Semiconductor Devices DC and Low
Frequency Parameters Test Equipments
2021-02-23发布
2021-08-23实施
国家市场监督管理总局发布 JJF1895—2021
半导体器件直流和低频参数
测试设备校准规范
JJF 1895—2021 代替JJG725—1991
Calibration Specification for Semiconductor Devices DC and Low Frequency Parameters
Test Equipments
归口单位：全国无线电计量技术委员会主要起草单位：中国电子技术标准化研究院参加起草单位：中国计量科学研究院
北京市科通电子继电器总厂有限公司
中国电子科技集团公司第十三研究所
北京励芯泰思特测试技术有限公司
本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释 JJF1895—2021
本规范主要起草人：
刘 冲（中国电子技术标准化研究院）李 洁（中国电子技术标准化研究院）张珊 (中国电子技术标准化研究院)
参加起草人：
高英（中国计量科学研究院）李奇（北京市科通电子继电器总厂有限公司养玉娥（中国电子科技集团公司第十三研究所）李力军（北京励芯泰思特测试技术有限公司） JJF1895—2021
目 录
引言 1 范围· 2 概述· 3 计量特性 3.1直流电阻… 3.2 电压输出 3.3 电压指示 3. 4 电流输出 3.5 电流指示 3.6 低频信号源， 3.7 低频h参数 4 校准条件.. 4.1环境条件 4.2 校准用设备
(Ⅱ) (1) (1) (1) (1 ) (1) (1) (1) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (4) (6) (7) (9) (10) (11) (12) (12) (13) (18) (23) (29)
校准项目和校准方法 5.1 校准项目· 5. 2 外观和工作正常性检查 5. 3 直流电阻· 5. 4 电压输出 5. 5 电压指示 5.6 电流输出 5. 7 电流指示： 5.8 低频信号源· 5. 9 低频h参数 6 校准结果表达 7 复校时间间隔· 附录A原始记录格式附录B 校准证书内页格式附录C 主要项目校准不确定度评定示例附录D被校设备的结构图、面板及测试夹具端子说明示例
5
I JJF1895—2021
引言
本规范依据JJF1071一2010《国家计量校准规范编写规则》和JJF1059.1一2012 《测量不确定度评定与表示》编写。
本规范是在JJG725一1991《晶体管直流和低频参数测试仪》基础上进行修订。与 JJG725一1991相比，除编辑性修改以外，主要技术变化如下：
修订了电流输出、电流指示等校准项目；增加了主要项目校准结果不确定度评定的示例 』（见附录C）。
本规范历次版本发布情况：
JJG725—1991。
II JJF1895—2021
半导体器件直流和低频参数
测试设备校准规范
1范围
本规范适用于半导体器件直流和低频参数测试设备的校准。
2概述
半导体器件直流和低频参数测试设备（以下简称被校设备）由偏置电压源、偏置电流源、电压测量单元、电流测量单元、低频信号源等组成，主要用于各类半导体器件直流参数、低频参数的测试。
3计量特性 3.1直流电阻
范围：0.0052~20G2，最大允许误差：士（0.1%1%）。 3.2电压输出
a）直流电压：士（0.01V～10kV），最大允许误差：士（0.1%～3%）； b）交流电压：士（0.1V～5000V），最大允许误差：士（1%～5%），频率：
50 Hz。 3.3电压指示
a）直流电压：士（0.01V~10kV），最大允许误差：士（0.1%3%）； b）交流电压：±（0.1V～5000V），最大允许误差：士（1%～5%），频率：
50 Hz。 3.4电流输出
a）直流电流：士（1nA～10A），最大允许误差：士（0.1%～1%）： b）脉冲电流：士（1A～1200A），最大允许误差：士（0.5%3%），单脉冲，
脉冲宽度：250μs~10ms。 3.5电流指示
a）直流电流：士（1nA～10A），最大允许误差：土（0.1%～1%）： b）脉冲电流：土（1A～1200A），最大允许误差：士（0.5%～3%），单脉冲，
脉冲宽度：250us10ms。 3.6低频信号源
a）信号源输出幅度：0.5V~1V，最大允许误差：士（1%3%）； b）频率：1kHz，最大允许误差：士1%。
3.7低频h参数
a）hie、hib：10Q～10k2，最大允许误差：士5%； b）hoe、hob：0.1μS～200μS，最大允许误差：土5%；
1 JJF1895—2021
c）hre、hrb：0.0001～0.1，最大允许误差：土8%； d）1一hrb：0.01～0.2，最大允许误差：±8%； e）hfe：0～500，最大允许误差：士（5%～8%）； f）Rz：10Q～100Q，最大允许误差：±5%。 注：以上技术指标不作合格性判别，仅提供参考，
4天 校准条件 4.1环境条件 4.1.1环境温度：（23士5）℃。 4.1.2相对湿度：≤80%。 4.1.3电源要求：（220士11）V，（50±1）Hz。 4.1.4周围无影响仪器正常工作的电磁干扰和机械振动。 4.2校准用设备 4.2.1数字多用表
a）直流电压测量范围：士（0.01V～1000V），最大允许误差：土0.03%； b）交流电压测量范围：0.1V～1000V，最大允许误差：土0.03%，频率范围：
50Hz~1kHz;
c）直流电流测量范围：土（10uA～10A），最大允许误差：士（0.03%～0.3%）； d）电阻测量范围：0.005Q～20G2，最大允许误差：士（0.03%～0.3%）。
4.2.2数字化仪
a）测量范围：士（0.1V~10V），最大允许误差：士（0.2%1%）； b）带宽：≥100kHz; c）采样速率：≥5X104Sa/s。
4.2.3静电计
直流电流测量范围：士（1nA10μA），最大允许误差：士0.3%。 4.2.4分流器
a）阻值：0.0052、0.012、0.12、12，最大允许误差：±0.15%； b）功率：≥10W； c）带宽：≥10kHz。
4.2.5高压表
a）直流电压：1kV～10kV，最大允许误差：士（0.5%～1%）； b）交流电压：1kV～5kV，最大允许误差：士（0.5%～1%），频率：50Hz。
4.2.6高电压电阻
额定电压：8000V；阻值：1k2、10k2、100k2、1M2、10M2、100M2、1G2、10G2，最大允
许误差：±（0.1%~1%）。 4.2.7直流高压分压器
分压比：1000：1，最大允许误差：士0.3%；
2 JJF1895—2021
直流额定电压：≥12kV；高压臂电阻：≥1M2。
4.2.8交流高压分压器
分压比：1000：1，最大允许误差：士0.3%；交流额定电压：≥6kV；频率：50Hz；高压臂电阻：≥1M2。
4.2.9标准电阻箱
阻值范围：102～10M2，最大允许误差：士0.1%。 4.2.10微欧姆计
范围：5mQ～102，最大允许误差：士0.1%。
5 校准项目和校准方法
5.17 校准项目
校准项目见表1。
表1 校准项目
编号 1 2 3 4 5 6 7
校准项目直流电阻电压输出电压指示电流输出电流指示低频信号源低频h参数
5.2 外观和工作正常性检查 5.2.1 被校设备应外观完好，应附有设备正常工作的必要的附件。各开关、按键等应安装牢固、调节正常，无影响电气性能的机械损伤 5.2.2通电预热后，仪器应能正常工作。 5.2.3对于具有机内校准功能的仪器，应按说明书要求进行自校准。 5.2.4将检查结果记入表A.1中。 5.3直流电阻 5.3.1仪器连接如图1所示，0.005Q2～1k2可使用数字多用表四线电阻测量功能校准；0.005Q～102可使用微欧姆计进行校准。按要求选择校准点，通常按每个量程高、中、低选择不少于三个校准点。
3