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中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1100—2016
平面等厚干涉仪校准规范
Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
2017-05-30实施
2016-11-30发布
国家质量监督检验检疫总局发布 JJF1100—2016
平面等厚干涉仪校准规范
JJF 1100—2016 代替JJF1100—2003
Calibration Specificationfor
FlatEqualThicknessInterferometers
归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会
主要起草单位：中国测试技术研究院
中国计量科学研究院
参加起草单位：中国科学院光电技术研究所
中测测试科技有限公司
本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF1100—2016
本规范主要起草人：
冉庆 (中国测试技术研究院) 张恒 （中国计量科学研究院）赵小萍 （中国测试技术研究院）康岩辉（中国计量科学研究院）
参加起草人：
吴时彬 （中国科学院光电技术研究所徐德宇（中国测试技术研究院）卿光亚（中测测试科技有限公司） JJF1100—2016
目 录
引言 1 范围· 2 引用文件· 3 概述··· 4 计量特性· 4.1干涉条纹间距测量的重复性. 4.2 测微目镜的示值误差 4.3 物镜系统引起的干涉条纹弯曲量.· 4.4仪器的示值误差： 5 校准条件。 5.1环境条件. 5.2校准项目和测量标准及其他设备. 6校准方法 6.1 干涉条纹间距测量的重复性. 6.2 测微目镜的示值误差 6.35 物镜系统引起的干涉条纹弯曲量 6.4 仪器的示值误差：
(Ⅱ) (1) (1) (1) (3) (3) (3) (3) (3) (3) (3) (3) (4) (4) (4) (4) (5) (5) (5) (6) (7) (10)
校准结果的表达 8复校时间间隔· 附录A平面等厚干涉条纹测量方法的图解与简介附录B 平面等厚干涉仪示值误差校准不确定度评定示例附录C校准证书内页信息及格式
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- JJF1100—2016
引言
JJF1071一2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001一2011《通用计量术语及定义》和JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本校准规范修订工作的基础性系列规范。
与JJF1100一2003《平面等厚干涉仪校准规范》相比，本规范除编辑性修改外，主
要技术变化如下：
本规范取消了按仪器示值误差对平面等厚干涉仪分级；一本规范取消了“不带标准平面平晶平面等厚干涉仪的示值误差可以不测量”这
条规定；
本规范增加了附录A：平面等厚干涉条纹测量方法的图解与简介；本规范中平面等厚干涉仪示值误差的测量推荐由二块Φ150mm一等标准平面
平晶按其两测量截面一一对应测量方法得到，并保留原规范用三块二等平面平晶互检方法；
本规范取消复校时间间隔中“建议一般不超过1年”条款，校准时间间隔由用
户根据自身企业情况确定。
本规范的历次版本发布情况：
JJF1100一2003《平面等厚干涉仪校准规范》； JJG336一1983《平面等厚干涉仪》。
II JJF1100—2016
平面等厚干涉仪校准规范
1范围
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。
2 引用文件
本规范引用下列文件： JJG28—2000平晶 JB/T7401—1994平面平晶凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文
件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范
3概述
平面等厚干涉仪（以下简称仪器）是采用等厚光波干涉原理，用于物体表面平面度测量（或检测）的光学仪器。按仪器结构分为不带标准平面平晶和带标准平面平晶的两种平面等厚干涉仪。仪器外形结构与光学原理分别见图1、图2、图3和图4。
仪器主体
电箱
图1不带标准平面平晶干涉仪的外形结构图 JJF1100—2016
10
+
图2不带标准平面平晶干涉仪的光学原理图 1一反射镜；2—光阑；3—钠光灯；4一反射镜；
5一准直物镜；6一被检平面平晶；7一纸垫；8一标准平面平晶；
9—调节螺钉；10—工作台；11—半透半反镜；12—物镜；13—光阑；14—测微目镜
力价
JPRRE
仪器主体
电箱
图3带标准平面平晶干涉仪的外形结构图
2 JJF1100—2016
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图4带标准平面平晶干涉仪的光学原理图 1一激光管：2一反射镜：3一聚光镜：4一光阑：
5一半透半反镜；6一反射镜；7一转向镜组；8一光阑：9一物镜：
10一分划板；11一目镜组；12一准直物镜；13一标准平面平晶；14一被检平面平晶；15一工作台
4计量特性 4.1干涉条纹间距测量的重复性
干涉条纹间距测量的重复性一般不超过士0.020mm。 4.2测微目镜的示值误差
在任意1mm内最大允许误差：士0.005mm，在全程8mm内最大允许误差： ±0.010mm. 4，3物镜系统弓起的干涉条纹弯曲量
在视场直径方向两侧1mm内干涉条纹弯曲量最大允许误差：土0.010mm，其余部分最大允许误差：士0.020mm。 4.4仪器的示值误差
仪器示值最大允许误差：土0.020um。 注：以上指标不是用于合格性判别，仅供参考。
5校准条件
5.1环境条件 5.1.1校准室内温度为（20士5）℃，温度变化每小时不超过0.2℃，连续工作10h温度变化应不超过1.0℃；湿度不超过65%RH。 5.1.2校准前被校仪器及所用标准器在校准室内温度平衡的时间不少于4h。 5.1.3校准室内无影响测量的振动和噪音：无影响测量的气流扰动：放置被校仪器的工作台稳固、可靠。 5.2校准项目和测量标准及其他设备
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