JJF 1100-2016
平面等厚干涉仪校准规范
Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
2017-05-30 实施
2016-11-30 发布
引 言
JJF 1071—2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001—2011《通用计量术语及定义》和JJF 1059.1—2012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本校准规范修订工作的基础性系列规范。
与JF1100—2003《平面等厚干涉仪校准规范》相比，本规范除编辑性修改外，主要技术变化如下∶
——本规范取消了按仪器示值误差对平面等厚干涉仪分级;
——本规范取消了"不带标准平面平晶平面等厚干涉仪的示值误差可以不测量"这条规定;
——本规范增加了附录 A∶ 平面等厚干涉条纹测量方法的图解与简介;
——本规范中平面等厚干涉仪示值误差的测量推荐由二块φ150 mm 一等标准平面平晶按其两测量截面
一一对应测量方法得到，并保留原规范用三块二等平面平晶互检方法;
——本规范取消复校时间间隔中"建议一般不超过1年"条款，校准时间间隔由用户根据自身企业情况确定。
本规范的历次版本发布情况∶
——JJF 1100—2003《平面等厚干涉仪校准规范》;
——JJG 336—1983《平面等厚干涉仪》。