JJF 1739-2019
数字式激光球面干涉仪校准规范
Calibration Specification of Digital Laser Spherical Interferometers
2019- 12- 27 实施
2019-09-27 发布
目 录
引言……………………………………………………………………………………………………………………………1
1 范围……………………………………………………………1
2 引用文件………………………………………………………………………………………………1
3术语和定义……………………………………………………………………1
3.1 面形偏差…………………………………………………1
3.2 峰谷值…………………………………………………1
3.3 PVr值………………………………………………………………………1
3.4 球面元件F数……………………………………………………………1
4 概述……………………………………………………………………1
5计量特性……………………………………………………………………2
5.1 示值误差.………………………………………………………………………………………………2
5.2测量重复性…………………………………………………………2
6校准条件…………………………………………………………2
6.1环境条件.……………………………………………………………………………….2
6.2校准用标准器………………………………………………………………………………….3
7校准项目和校准方法………………………………………………3
7.1示值误差………………………………………………3
7.2测量重复性…………………………………………………………5
8校准结果表达.………………………………………………………………………6
9复校时间间隔……………………………………………………………6
附录 A PVr值……………………………………………………………………………………………7
附 录 B 三位置法公式推导………………………………………………………………8
附 录 C 数字球面干涉仪直接比较法校准不确定度评定示例………………………………………10
附 录 D 数字球面干涉仪三位置法校准不确定度评定示例…………………………………….12
附 录 E 校准证书内页信息及格式……………………………………………16