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JJF 1250-2010 激光测径仪校准规范 高清晰版

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内容简介

JJF 1250-2010 激光测径仪校准规范 高清晰版 JF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1250—2010
激光测径仪校准规范
Calibration Specification for Laser Diameter Measuring Gauges
2010-08-11实施
2010-05-11发布
国家质量监督检验检疫总局发布 JJF1250—2010
激光测径仪校准规范
JJF 1250—2010
Calibration Specification for LaserDiameterMeasuringGauges
本规范经国家质量监督检验检疫总局于2010年5月11日批准,并自
2010年8月11日起施行。
归口单位:全国几何量工程参量计量技术委员会起草单位:工业和信息化部电子第五研究所
江苏省计量科学研究院
本规范由全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF1250—2010
本规范主要起草人:
常青(工业和信息化部电子第五研究所)王晓飞(江苏省计量科学研究院)
参加起草人:
李升春(工业和信息化部电子第五研究所)
李江云(工业和信息化部电子第五研究所) JJF1250—2010
目 录
1 范围· 2
(1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (3) (4) (4) (5) (7) (10)
引用文献 3 概述·
计量特性 4.1示值误差. 4. 2 重复性· 4.3 稳定性: 4. 4 自校准用标准规 5校准条件. 5. 1 环境条件 5. 2 校准用标准器及其他设备 6校准项目和校准方法 6.1示值误差 6.2 重复性 6.3 稳定性 6.4 自校准用标准规·
4
校准结果的表达·· 复校时间间隔.
7
8
附录A激光测径仪示值误差的测量结果不确定度评定附录B自校准用标准规直径的测量结果不确定度评定附录 C 校准证书内容 JJF1250—2010
激光测径仪校准规范
1 范围
本规范适用于测量范围上限至30mm的激光测径仪的校准。
2 引用文献
本规范引用下列文献: JJF1001一1998通用计量术语及定义 JJF1059—1999测量不确定度评定与表示使用本规范时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3概述
激光测径仪是利用激光扫描光束测量物体几何尺寸的非接触快速测量仪器。它采用半导体激光器为光源,由激光器发出的光束通过多面体扫描转镜和一组光学透镜后,形成与光轴平行的连续高速扫描光束,对放置于测量区域的工件进行高速扫描,并由激光接收器接收被阻挡的扫描光束时间。通过已知激光扫描的速度,计算获得被测工件的几何尺寸。其测量原理见图1。
图1激光测径仪测量原理图
1一激光器;2一发射器部分;3一扫描转镜;4一工件;5一光电变换;6一数据处理;7一接收器部分激光测径仪主要用于测量针规、塞规等棒状的精密标准量具或工件的直径和圆跳
动,也可用于对易碎、易变形、热的、洁净的零件进行非接触测量。
激光测径仪根据其使用范围和准确度,具有不同的分辨力和量程。根据其功能,激光测径仪分为带有自校准功能和无自校准功能两种。 JJF1250—2010
4计量特性 4.1示值误差
仪器示值的最大允许误差及自校准用标准规的技术要求见表1。
表1 仪器示值最大允许误差及自校准用标准规的技术要求
μm ±50
±2
±5
±0. 5 ±1. 0
±10
示值最大允许误差
直径测量不确定度U (k=2) 直径变动量
0. 7
1. 5
0. 3
10
0. 15
3. 0
自校准用标准规
0. 2
0. 4
1. 5
注:仪器有出厂技术指标的以出厂技术指标为准。
校准示值误差的标准规直径测量不确定度也应符合相应要求。
4.2重复性
示值重复性不超过仪器示值最大允许误差绝对值的1/3。 4.3稳定性
对于非连续测量的,稳定性不超过仪器示值最大允许误差绝对值的1/2,连续测量的则不超过仪器示值最大允许误差的绝对值。 4.4 自校准用标准规
自校准用标准规的直径测量结果不确定度和直径变动量见表1。 注:校准工作不判断合格与否,上述计量特性要求仅供参考。
5 校准条件 5.1 环境条件
校准室内温度为(20士2)℃,温度变化不大于1℃/h,相对湿度不大于75%。被
校准仪器与校准用标准器在室内平衡温度时间不少于2h。 5.2 校准用标准器及其他设备
校准用标准器及其他设备见表2。
表2校准用标准器及其他设备校准用标准器及其他设备
序号 1 2 3
校准项目示值误差重复性稳定性
计量性能
U=(0.15~1.2)μm,k=2
标准规
2等,3等
量块接触式干涉仪
MPE: 0.03+1.5ni lum
AA
自校准用标准规
4
MPE:±0.25μm
光学计测长机
MPE±(0.6μm+5X10-6L)
2 JJF1250—2010
6校准项目和校准方法
校准项目见表2。 在对仪器的外观和各部分相互作用检查正常且仪器能够正常工作时才可进行相应的
校准。 6.1示值误差
有自校功能的激光测径仪,应先按照仪器说明书或具体使用要求使用仪器自带的标准规进行示值校准后,再进行示值误差的校准,其他类型的激光测径仪的示值误差直接进行校准。
校准时在仪器测量范围内选取大致均匀分布的5个点作为测量点(含最接近测量范围上、下限的点),选取相应直径和准确度的标准规依次进行测量。每个测量点在标准规横截面均匀分布的3个位置进行测量,以3次测量的平均值作为该点的测量值d,(i=1,2,3,),其示值误差:为仪器测量平均值d,与标准规实际值D;之差。
=d,-D
式中:;——第i测量点的示值误差,um;
d;——第i测量点的仪器测量值,um; D:一一第i测量点的标准规实际值,um。 仪器示值误差以各点示值误差绝对值的最大值作为校准结果。
6.2重复性
用标准规测量。选择尺寸接近仪器测量范围1/2的标准规对仪器进行9次重复测量,取9次测量的最大值与最小值之差的1/3作为校准结果。 6.3稳定性
仪器开机预热0.5h后,用标准规进行测量,对于非连续测量仪器,在4min内每隔1min观测一次;对于连续测量仪器,在1h内每隔15min观测一次,每次观测值与起始读数值差值的最大值作为校准结果。 6.4自校准用标准规
用于仪器自校准的标准规应采用相应准确度的测量方法进行校准。对于测量不确定度要求不大于0.3um的可选用接触式干涉仪和2等量块以比较法测量;对于测量不确定度要求在(0.30.8)um的可选用光学计和3等量块以比较法测量;对于测量不确定度要求大于0.8um的可选用测长机进行直接测量。
在标准规中心距两端各1/3的长度范围内选取测量部位,并在两相互垂直的方向进行测量。必要时也可增加测量位置。
比较法测量时,自校准用标准规的直径为:
D=d+L
式中:D—自校准用标准规直径,mm;
d比较测量时仪器读数差,mm; L量块实际尺寸,mm。 直接法测量时,自校准用标准规的直径为:
3 JJF1250—2010
D=d
式中:D自校准用标准规直径,mm;
d一直接测量时仪器读数值,mm。 标准规的直径变动量以直径测量结果中的最大值与最小值的差值确定在满足直径测量不确定度要求的情况下,允许采用其他测量仪器进行测量
校准结果的表达
经校准的激光测径仪填发校准证书复校时间间隔
8
复校时间间隔由送校单位根据使用情况自主确定,建议不超过1年。
4 JF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1250—2010
激光测径仪校准规范
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2010-08-11实施
2010-05-11发布
国家质量监督检验检疫总局发布 JJF1250—2010
激光测径仪校准规范
JJF 1250—2010
Calibration Specification for LaserDiameterMeasuringGauges
本规范经国家质量监督检验检疫总局于2010年5月11日批准,并自
2010年8月11日起施行。
归口单位:全国几何量工程参量计量技术委员会起草单位:工业和信息化部电子第五研究所
江苏省计量科学研究院
本规范由全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF1250—2010
本规范主要起草人:
常青(工业和信息化部电子第五研究所)王晓飞(江苏省计量科学研究院)
参加起草人:
李升春(工业和信息化部电子第五研究所)
李江云(工业和信息化部电子第五研究所) JJF1250—2010
目 录
1 范围· 2
(1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (3) (4) (4) (5) (7) (10)
引用文献 3 概述·
计量特性 4.1示值误差. 4. 2 重复性· 4.3 稳定性: 4. 4 自校准用标准规 5校准条件. 5. 1 环境条件 5. 2 校准用标准器及其他设备 6校准项目和校准方法 6.1示值误差 6.2 重复性 6.3 稳定性 6.4 自校准用标准规·
4
校准结果的表达·· 复校时间间隔.
7
8
附录A激光测径仪示值误差的测量结果不确定度评定附录B自校准用标准规直径的测量结果不确定度评定附录 C 校准证书内容 JJF1250—2010
激光测径仪校准规范
1 范围
本规范适用于测量范围上限至30mm的激光测径仪的校准。
2 引用文献
本规范引用下列文献: JJF1001一1998通用计量术语及定义 JJF1059—1999测量不确定度评定与表示使用本规范时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3概述
激光测径仪是利用激光扫描光束测量物体几何尺寸的非接触快速测量仪器。它采用半导体激光器为光源,由激光器发出的光束通过多面体扫描转镜和一组光学透镜后,形成与光轴平行的连续高速扫描光束,对放置于测量区域的工件进行高速扫描,并由激光接收器接收被阻挡的扫描光束时间。通过已知激光扫描的速度,计算获得被测工件的几何尺寸。其测量原理见图1。
图1激光测径仪测量原理图
1一激光器;2一发射器部分;3一扫描转镜;4一工件;5一光电变换;6一数据处理;7一接收器部分激光测径仪主要用于测量针规、塞规等棒状的精密标准量具或工件的直径和圆跳
动,也可用于对易碎、易变形、热的、洁净的零件进行非接触测量。
激光测径仪根据其使用范围和准确度,具有不同的分辨力和量程。根据其功能,激光测径仪分为带有自校准功能和无自校准功能两种。 JJF1250—2010
4计量特性 4.1示值误差
仪器示值的最大允许误差及自校准用标准规的技术要求见表1。
表1 仪器示值最大允许误差及自校准用标准规的技术要求
μm ±50
±2
±5
±0. 5 ±1. 0
±10
示值最大允许误差
直径测量不确定度U (k=2) 直径变动量
0. 7
1. 5
0. 3
10
0. 15
3. 0
自校准用标准规
0. 2
0. 4
1. 5
注:仪器有出厂技术指标的以出厂技术指标为准。
校准示值误差的标准规直径测量不确定度也应符合相应要求。
4.2重复性
示值重复性不超过仪器示值最大允许误差绝对值的1/3。 4.3稳定性
对于非连续测量的,稳定性不超过仪器示值最大允许误差绝对值的1/2,连续测量的则不超过仪器示值最大允许误差的绝对值。 4.4 自校准用标准规
自校准用标准规的直径测量结果不确定度和直径变动量见表1。 注:校准工作不判断合格与否,上述计量特性要求仅供参考。
5 校准条件 5.1 环境条件
校准室内温度为(20士2)℃,温度变化不大于1℃/h,相对湿度不大于75%。被
校准仪器与校准用标准器在室内平衡温度时间不少于2h。 5.2 校准用标准器及其他设备
校准用标准器及其他设备见表2。
表2校准用标准器及其他设备校准用标准器及其他设备
序号 1 2 3
校准项目示值误差重复性稳定性
计量性能
U=(0.15~1.2)μm,k=2
标准规
2等,3等
量块接触式干涉仪
MPE: 0.03+1.5ni lum
AA
自校准用标准规
4
MPE:±0.25μm
光学计测长机
MPE±(0.6μm+5X10-6L)
2 JJF1250—2010
6校准项目和校准方法
校准项目见表2。 在对仪器的外观和各部分相互作用检查正常且仪器能够正常工作时才可进行相应的
校准。 6.1示值误差
有自校功能的激光测径仪,应先按照仪器说明书或具体使用要求使用仪器自带的标准规进行示值校准后,再进行示值误差的校准,其他类型的激光测径仪的示值误差直接进行校准。
校准时在仪器测量范围内选取大致均匀分布的5个点作为测量点(含最接近测量范围上、下限的点),选取相应直径和准确度的标准规依次进行测量。每个测量点在标准规横截面均匀分布的3个位置进行测量,以3次测量的平均值作为该点的测量值d,(i=1,2,3,),其示值误差:为仪器测量平均值d,与标准规实际值D;之差。
=d,-D
式中:;——第i测量点的示值误差,um;
d;——第i测量点的仪器测量值,um; D:一一第i测量点的标准规实际值,um。 仪器示值误差以各点示值误差绝对值的最大值作为校准结果。
6.2重复性
用标准规测量。选择尺寸接近仪器测量范围1/2的标准规对仪器进行9次重复测量,取9次测量的最大值与最小值之差的1/3作为校准结果。 6.3稳定性
仪器开机预热0.5h后,用标准规进行测量,对于非连续测量仪器,在4min内每隔1min观测一次;对于连续测量仪器,在1h内每隔15min观测一次,每次观测值与起始读数值差值的最大值作为校准结果。 6.4自校准用标准规
用于仪器自校准的标准规应采用相应准确度的测量方法进行校准。对于测量不确定度要求不大于0.3um的可选用接触式干涉仪和2等量块以比较法测量;对于测量不确定度要求在(0.30.8)um的可选用光学计和3等量块以比较法测量;对于测量不确定度要求大于0.8um的可选用测长机进行直接测量。
在标准规中心距两端各1/3的长度范围内选取测量部位,并在两相互垂直的方向进行测量。必要时也可增加测量位置。
比较法测量时,自校准用标准规的直径为:
D=d+L
式中:D—自校准用标准规直径,mm;
d比较测量时仪器读数差,mm; L量块实际尺寸,mm。 直接法测量时,自校准用标准规的直径为:
3 JJF1250—2010
D=d
式中:D自校准用标准规直径,mm;
d一直接测量时仪器读数值,mm。 标准规的直径变动量以直径测量结果中的最大值与最小值的差值确定在满足直径测量不确定度要求的情况下,允许采用其他测量仪器进行测量
校准结果的表达
经校准的激光测径仪填发校准证书复校时间间隔
8
复校时间间隔由送校单位根据使用情况自主确定,建议不超过1年。
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