ICS 77. 150. 99 CCS H 68
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T 1500—2021
多晶硅制备炉衬用银板材
Silver plates for lining used in manufacturing polycrystalline siliconfurnace
2021-12-02发布
2022-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1500—2021
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本文件起草单位：西安诺博尔稀贵金属材料股份有限公司、西北有色金属研究院、西安瑞鑫科金属材
料有限责任公司。
本文件主要起草人：赵涛、马小龙、马晓东、周龙海、余建军、韩吉庆、陈昊、宜楠、郑晶、王靖坤。 YS/T1500—2021
多晶硅制备炉衬用银板材
1范围
本文件规定了多晶硅制备炉衬用银板材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、 运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于多晶硅制备炉衬用银板材（以下简称银板）。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T4340.1金属材料维氏硬度试验第1部分：试验方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 YS/T984硅粉化学分析方法硼、磷含量的测定 YS/T1198银化学分析方法铜、铋、铁、铅、锑、钯、硒、碲、砷、钻、锰、镍、锡、锌、镉量的测定 电
感耦合等离子体质谱法
3术语和定义及符号
本文件没有需要界定的术语和定义。
4分类和标记
4.1产品分类
银板的牌号、状态、规格应符合表1的规定。
表1牌号、状态、规格
规格 mm 宽度 400~1500 400~1500
牌号
状态
厚度 0.5~5.0 0.5~5.0
长度 500~3000 500~3000
Ag99. 99 Ag99.95 注：需方需要其他牌号、状态、规格时，由供需双方协商确定后在订货单中注明。
硬态(Y) 硬态(Y)
4.2 产品标记
银板标记按产品名称、文件编号、牌号、状态、规格的顺序表示。
1 YS/T1500—2021
示例1：
用Ag99.99制造的、状态为硬态（Y)、厚度为1.5mm、宽度为1000mm、长度为1500mm的板材，标记为：
板YS/T1500-Ag99.99Y-1,5X1000×1500
5技术要求
5.11 化学成分
银板的化学成分应符合表2的规定。
表2化学成分
质量分数
%
牌号
杂质，不大于 Bi
Ag，不小于 99.99 99. 95
P
杂质总和b
Fe 0. 004 0.002 0. 002 0. 002 0.002 0. 002 0. 01 0. 03 0. 004 0. 004 0. 004 0. 004 0. 004 0. 05
Pb
Sb
B
Ag99.99 Ag99.95 Ag的含量不直接检测，为100%减去“杂质总和”所得。 b“杂质总和”为Fe、Pb、Sb、Bi、P、B杂质元素实测值之和。
5.2外形尺寸及其允许偏差 5.2.1厚度及其允许偏差
银板的厚度及其允许偏差应符合表3的规定。
表3 厚度及其允许偏差
单位为毫米
厚度 0.5~1.0 >1. 0~2. 0 >2.0~3.0 >3.0~5.0
厚度允许偏差“
±0. 04 ±0. 05 ±0.06 ±0. 07
当需方要求允许偏差全为“十”或全为“二”单向偏差时，其值为表中相对应数值的2倍。
5. 2. 2 宽度及其允许偏差
银板的宽度及其允许偏差应符合表4的规定。
单位为毫米
表4宽度及其允许偏差
宽度允许偏差
宽度 400~1500
±2.0
2 YS/T1500—2021
5.2.3 3长度及其允许偏差
银板的长度及其允许偏差应符合表5的规定，
单位为毫米
表5长度及其允许偏差
长度 500~3000
长度允许偏差
±2.0
5.2.4平直度
银板平直度应不大于0.6%。 5.3力学性能
产品的室温力学性能应符合表6的规定。
表6室温力学性能
硬度试验显微维氏硬度(HVO.1)
牌号
试样状态
Ag99. 99 Ag99. 95
硬态(Y) 硬态(Y)
80~100 80~100
注：需方有特殊要求时，由供需双方协商确定后在订货单中具体注明。
5.4外观质量 5.4.1产品表面应光洁，平整，允许有轻微的、局部的划伤、凹坑、压痕、辊印、油迹。不应有裂纹、起皮、 气泡、夹杂等影响使用的缺陷。 5.4.2产品的边部应整齐、无裂边和卷边，允许有轻微的，不影响使用的毛刺 5.4.3产品的表面粗糙度(Ra)不大于0.8μm。
6试验方法
6.1化学成分
产品的Fe、Pb、Sb、Bi元素常规检验及仲裁分析按YS/T1198进行。B、P元素常规检验可按ICP或认可的其他方法进行；B、P元素仲裁分析按YS/T984进行。 6.2外形尺寸及其允许偏差 6.2.1产品的外形尺寸及其允许偏差的测量方法按GB/T15077的规定进行。 6.2.2产品的平直度按图1测量，用式(1)计算：
H×100%
..(1)
式中： H-板材下表面与基准面之间的最大垂直距离，单位为毫米(mm）；
3 YS/T1500—2021
L -板材最高点与基准面接触点之间的最小水平距离，单位为毫米（mm）。
截面A—A
>
1
KH
H
图1平直度测量示意图
6.3力学性能
产品的维氏硬度按GB/T4340.1的规定进行。 6.4外观质量 6.4.1在自然散射光下，目视检查表面及边部质量。 6.4.2产品的表面粗糙度，采用粗糙度仪进行检测。
7检验规则
7.1检查和验收 7.1.1产品由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于外观质量、外形尺寸、性能的异议，应在收到产品之日起1个月内提出。如需仲裁，应由供需双方在需方共同取样或协商确定。 7.2组批
产品应成批提交验收，每批应由同一牌号、同一状态、同一规格、同一热处理炉次的产品组成。 7.3检验项目
产品的化学成分、外形尺寸及其允许偏差、力学性能、外观质量等检验项目为出厂检验项目。 7.4取样和制样
产品的取样应符合表7规定。
4 YS/T1500—2021
表7取样规定取样规定
技术要求的章条号 试验方法的章条号
检验项目化学成分
5. 1 5. 2 5. 3 5. 4
6. 1 6. 2 6. 3 6. 4
供方每炉取1个试样；仲裁时，需方每批取1个试样
外形尺寸及其允许偏差
逐件
力学性能外观质量
每批产品任意部位取1个试样
逐件
7.5检验结果的判定 7.5.1 检验结果的数值按GB/T8170的规定进行修约，并采用修约值比较法判定。 7.5.2化学成分不合格时，则判该批产品不合格。 7.5.3外形尺寸及其允许偏差不合格时，判该件产品不合格。 7.5.4力学性能不合格时，应从该批产品中另取双倍数量的试样进行重复试验。若重复试验结果中仍有试样不合格，则判该批产品不合格。经供需双方商定，允许供方对不合格产品逐件进行检验时，合格者重新组批交货。 7.5.5产品外观质量不合格时，判该件产品不合格。
8标志、包装、运输、贮存及随行文件
8.1 标志 8.1.1产品标志
应在检验合格的产品上打印如下标记（或挂标签）： a）牌号； b）状态； c) 规格； d) 产品批号。
8.1.2 包装标志
产品的包装箱上应系有标签（或标牌）： a) 供方名称； b) 产品牌号、状态及规格； c) 产品批号。
8.1.3 包装、运输、贮存
每件产品之间应用美容纸或牛皮纸隔开，运输过程中，应防止碰撞、擦伤。应保存在干燥、无腐蚀性气氛的场所。 8.1.4随行文件
每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期外，还宜包括：
5 YS/T1500—2021
a) 产品质量保证书，内容如下：
·产品的主要性能及技术参数；：产品获得的质量认证及带供方技术监督部门检印的各项分析检验结果。
b）产品合格证，内容如下：
检验项目及其结果或检验结论；
·
·批号； ·检验日期； ·检验员签名或盖章。
c) 产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告。 d) 产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等。 e) 其他。
9 订货单内容
需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容： a) 产品名称； b) 牌号； c) 状态； d) 规格； e) 净重(或件数)； f) 本文件编号； g) 其他。
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