ICS 71. 100. 01 G 14
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T11952017
多晶硅副产品 四氯化硅 Silicon tetrachlorideBy-product of polysilicon
2018-01-01实施
2017-07-07 发布
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1195—2017
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、多晶硅材料制备国家工程实验室、内蒙古神舟硅业有限
责任公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司。
本标准主要起草人：严大洲、万烨、毋克力、张园园、楚东旭、付雷、张啸虎、高云龙、解伟、邱艳梅。 YS/T1195—2017
多晶硅副产品 四氯化硅
1范围
本标准规定了多晶硅副产品四氯化硅的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于多晶硅生产过程中产生的副产品四氯化硅。该产品主要作为生产光纤四氯化硅、气相二氧化硅、氢化生产三氯氢硅、有机硅和石英玻璃等产品的原料。 2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB190危险货物包装标志 GB6680液体化工产品采样通则 GB12463危险货物运输包装通用技术条件 GB15603常用化学危险品贮存通则
3要求
产品在常温常压下为液态，其技术指标应符合表1的规定，其他技术要求由供需双方协商确定并在合同中注明。
表1技术指标
技术指标 Ⅱ级
项 目
I级 99.50 0. 10
Ⅲ级 95. 00 0. 50
IV级 50. 00
98. 00 0. 20
四氯化硅（质量分数，不小于)/% 高沸物（质量分数，不大于)/% 二氯二氢硅（质量分数，不大于)/%
2. 00
硼(不大于)/μg·g-1 磷(不大于)/μg·g-1
0. 02 0. 01 0.10
2. 00 1. 00 5. 00
10. 00 5. 00 50.00
杂质元素含量
铁、铝、钛总和(不大于)/μg·g~1
注：高沸物为沸点高于四氯化硅的其他物质。
4试验方法 4.1四氯化硅、高沸物和二氯二氢硅含量的测定按附录A规定的方法进行。 4.2杂质元素含量的测定按附录B规定的方法进行。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品应由供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写产品质量证明书。
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5.1.2需方可对收到的产品进行检验。若检验结果与本标准或合同的规定不符时，需方应及时提出，由供需双方协商解决。 5.2组批
产品应成批提交验收，每批产品由以同一等级的四氯化硅组成，也可按储罐或生产周期组批。 5.3取样 5.3.1样品可采用洁净、干燥的器Ⅲ从生产装置或储运槽车或同一批桶装产品中采样。 5.3.2取样按GB6680的规定执行，特殊取样时由供需双方协商确定。 5.4检验项目
每批产品应对四氯化硅、高沸物、二氯二氢硅含量及杂质元素含量进行检验。 5.5检验结果的判定
四氯化硅、高沸物、二氯二氢硅、杂质元素含量的检验结果中有任意一项不合格时，则重新取样，对不合格的项目进行重复试验，对重复试验结果仍不合格的产品，判该批产品不合格。 6标志、包装、运输、贮存及质量证明书 6.1标志
四氯化硅包装容器上应有清晰、明显、牢固的标志，其内容包括：产品名称、批号、净重以及GB190中规定的相关标志。 6.2包装
四氯化硅产品采用干燥清洁的专用槽车灌装或根据用户要求包装，包装要求密封，不可与空气接触。 罐装质量不应超过槽车要求的充装质量，充装压力不得超过容器的使用压力。槽罐车及罐体应按照周期进行检定。其他要求应符合GB12463的规定。 6.3运输
运输过程中要确保容器不泄漏、不倒塌、不坠落、不损坏。严禁与强碱、强氧化剂、醇类、水、食用化工物品等混装混运。运输应按规定的路线行驶，途中应防高温、曝晒、雨淋，禁止在人口密集区停留。搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。其他要求应符合GB12463的规定。 6.4贮存
四氯化硅产品贮存在阴凉、干燥、通风良好的区域，储罐应密闭并设置防静电接地装置和避雷装置，并远离火种、热源。其他要求应符合GB15603的规定。 6.5质量证明书
每批产品应附有质量证明书，其上注明： a) 供方名称； b）产品名称； c）产品批号； d）产品净重； e) 各项检验结果及检验部门印记； f）本标准编号； g）出厂日期。
7安全 7.1四氯化硅遇水强烈水解成硅酸和氯化氢酸雾。接触其蒸汽可引起接触性皮炎，接触液体可致皮肤和黏膜灼伤。四氯化硅对眼、上呼吸道黏膜有强烈的刺激作用，高浓度时会引起眼角膜浑浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿。
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7. 2 2在进行四氯化硅装卸或取样时应尽量避免空气接触，局部排风，使用防爆型的通风系统和设备。操作人员应经过专门培训，严格遵守操作规程。防止蒸汽泄漏到工作场所空气中，可能接触其蒸汽时，建议操作人员佩戴防毒面具、防护眼镜和橡胶手套。工作场所应配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。 7.3四氯化硅泄漏时应采用干砂、二氧化碳、干粉、水泥灭火，禁止直接用水或泡沫扑救。 8 订货单(或合同)内容
本标准所列产品的订货单（或合同）内应包括下列内容： a) 产品名称； b) 技术要求； c) 重量； d) 本标准编号； e) 安全注意事项； f) 其他。
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附录A （规范性附录）
四氯化硅中组分含量的测定
A.1方法提要
被分析样品在载气的推动下，经过涂有固定液的色谱柱时，根据不同化合物性质的差异得以分离，并按顺序依次被载气送人检测器。记录各色谱峰信号，其信号大小在一定浓度范围内与待测组分的量成比例。采用（校正）面积归一化法定量，四氯化硅样品进样量为0.01mL时，组分检测限范围 0.01%~100%。 A.2试剂与材料 A.2.1载气：氢气，纯度≥99.99%（体积分数），用硅胶和分子筛干燥净化。 A.2.2微量进样器。 A.3仪器与设备 A.3.1气相色谱仪：配置TCD检测器、色谱工作站等 A.3.2色谱柱：DC550填充柱或能达到同等分离程度的填充柱。 A.4分析步骤 A.4.1参考色谱条件：进样口温度：180℃；检测器温度：250℃；柱箱温度：160℃；载气：氢气，流量： 40mL/min；运行时间：30min。 A.4.2仪器接通载气、通电，待仪器开机正常、稳定后，调用测试方法，仪器预热升温后进入稳定状态。 A.4.3检查仪器记录“电位”数值，待仪器信号稳定后，在通风橱内，用干燥的微量进样器吸取4L左右样品迅速进样，同时启动工作站记录色谱峰信号。 A.4.4进样完毕，迅速用氮气吹干微量进样器内腔和针芯。 A.4.5连续进样两次，两次四氯化硅含量结果的相对偏差应不超过士0.25% A.4.6分析完毕，关闭软件，开始降温，待各温度接近室温后关闭载气，关闭主机电源。 A.5分析结果的计算与表述
四氯化硅中各组分含量以其质量分数计，按式(A.1)进行计算：
A;
C=A.+A.+..+A×100%
....(A.1)
式中： C: A,A2，,A,各组分的峰面积，μV·min。
组分i的百分含量，%；
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附录B (规范性附录）
四氯化硅中杂质元素含量的测定
B.1方法提要
取一定量的四氯化硅样品，用极少量的纯水或纯净甘露醇溶液和四氯化硅反应，生成二氧化硅细颗
粒、氯化氢，氯硅烷挥发干净，杂质被二氧化硅吸附，使用氢氟酸反应消解掉二氧化硅，在一定的温度下蒸干，杂质固定吸附在干净的四氟埚壁底，使用稀硝酸溶液定容收集杂质，使用电感耦合等离子体原子发射光谱法或其他供需双方确定的方法检测杂质含量。 B.2试剂与材料 B.2.1超纯水：电阻率不低于18.2MQ·cm，且硼、磷及每种金属杂质含量均低于10ng/L。 B.2.2标准贮存溶液：包含元素硼、磷、铁、铝、钛，10mg/L。 B.2.3氢氟酸：质量分数30.0%~50.0%，硼、磷及每种金属杂质含量均低于10μg/L。 B.2.4硝酸：质量分数65.0%~68.0%，硼、磷及每种金属杂质含量均低于10μg/L。 B.2.5硝酸溶液：质量分数2%。 B.3仪器与设备 B.3.1电感耦合等离子体原子发射光谱仪(ICP-OES)。 B.3.2分析天平：感量0.01g。 B.3.3埚：应由聚四氟乙烯(PTFE)或全氟烷氧基树脂(PFA)、铂金等耐氢氟酸腐蚀并可清洗且对分析结果无影响的材料制成。 B.3.4电加热设备：表面非金属材料，应耐腐蚀。 B.4分析步骤 B.4.1在洁净的埚中，加入一滴纯水或其他配合剂。 B.4.2称取4g～20g四氯化硅澄清液缓慢倒人B.4.1的埚中，精确至0.01g，称样量根据杂质含量水平确定。 B.4.3将埚置于60℃左右电加热板上，在微正压氮气保护下，将四氯化硅挥干。 B.4.4向B.4.3的埚中缓慢加人1.0mL~1.5mL的氢氟酸并盖上埚盖，将电加热板调至130℃ 左右，加热回流1h左右。回流完毕，打开盖，将埚中酸全部蒸干。 B.4.5向蒸干后的埚中趁热加入硝酸溶液，缓慢晃动浸润整个埚壁，冷却后定容。 B.4.6随同试样做空白试验。 B.4.7在洁净的容量瓶中，分别配制合适浓度梯度的系列标准溶液，一般情况下，配制标线的浓度为 0mg/L、0.5mg/L、1.0mg/L、2.0mg/L、5.0mg/L、10.0mg/L。 B.4.8以标准系列工作溶液中各元素信号与所测元素信号的比值为纵坐标，以标准系列工作溶液中各元素的浓度为横坐标做标准曲线。各待测元素的分析线见表B.1。
表B.1 各元素分析线选择表
元素分析线/nm
磷 213.617
铁 238.204
钛 334.940
硼 249.677
铝 396.153
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B.4.9将空白溶液、样品溶液在电感耦合等离子体原子发射光谱仪上进行分析，仪器自动给出空白溶液和样品溶液中各待测元素的质量浓度。 B.5分析结果的计算
各金属杂质的含量以其质量分数wx表示，按式(B.1)计算：
_(c2-G)XV
wx
..(B. 1 )
m
式中： wx 样品中硼、磷、铁、铝、钛的质量分数，单位为微克每克（ug/g）；
空白溶液中待测元素的浓度，单位为微克每毫升（ug/mL）；样品溶液中待测元素的浓度，单位为微克每毫升（ug/mL）；
C1 C2 V 样品溶液的定容体积，单位为毫升（mL)；
试样的质量，单位为克（g）。
m
计算结果保留至小数点后两位。 B.6精密度 B.6.1重复性
在重复条件下获得两个独立结果的测定值，这两个测定结果在表B.2给出的平均值范围内，这两个结果的绝对差值不超过重复性限（r），超过重复性限（r)的情况不超过5%，重复性限按表B.2数据采用线性内插法获得。
表 B.2 重复性限
项目杂质元素含量/ug·g-1
要 求
10. 00 2.00 1. 50
0. 10 0. 04 0. 02
2. 00 0.50 0. 30
50. 00 8. 00 5. 00
硼、磷铁、铝、钛
重复性限r/ug·g-1 注：重复性限r为2.8×S,S.为重复性标准差。
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