ICS 37.020 N 34 备案号：44291—2014
中华人民共和国机械行业标准
JB/T9341.1—2013 代替JB/T9341.1—1999
计量光栅 第1部分：术语
Metrology grating-Part 1:Vocalulary
2014-07-01实施
2013-12-31发布
中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T9341.1—2013
目 次
前言.. 1范围... 2光栅.. 3莫尔技术.. 4光栅测量系统. 5参数和技术指标索引中文索引（按汉语拼音顺序）英文索引（按英文字母顺序)
.11
..
6
4
1 1 .18
....21 JB/T341.1—2013
前言
JB/T9341《计量光栅》分为四个部分：
第1部分：计量光栅术语；第2部分：计量光栅 数显表（卡)； —第3部分：计量光栅 玻璃光栅尺技术要求；第4部分：计量光栅 玻璃光栅盘技术要求。 本部分为JB/T9341的第1部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分代替JB/T9341.1—1999《计量光栅术语》，与JB/T9341.1—1999（以下简称：原标准）相
比主要技术变化如下：
将原标准第2章和第3章的顺序对调； -增加了第4章光栅测量系统，包括术语20条；
—增加了术语2.27、2.32、2.34、5.38；增加了插图18幅；
删除了原标准中的术语3.07、3.10、3.26、3.32、3.38、4.25、4.28、4.30、4.32；删除了原标准中的公式8、12、13、14、15、16、17、18、20、22、23；纠正了原标准中术语2.03、2.12、4.14定义中的错字；纠正了原标准中术语3.06、4.17、4.33、4.34公式或公式变量定义中的错误；纠正了原标准中术语4.39英译的错字；修改了原标准的术语3.12、3.17、4.06、4.15、4.35的名称；修改了原标准术语2.01、2.06、2.09、3.01、3.05、3.15、3.16、3.17、3.43、4.06、4.07、4.08、 4.09、4.10、4.11、4.13、4.16、4.18、4.24、4.27、4.29、4.31、4.38、4.40、4.41的定义； -对原标准术语2.08、2.14、2.17、3.13、3.14的定义进行了补充；一对原标准进行了多处编辑性修改。 本部分由中国机械工业联合会提出。 本部分由全国光学和光子学标准化技术委员会（SAC/TC103）归口。 本部分起草单位：贵阳新天光电科技有限公司、上海理工大学、苏州一光仪器有限公司、贵州省光
-
-
学测量工程技术研究中心、宁波永新光学股份有限公司、南京江南永新光学有限公司、南京东利来光电实业有限公司、宁波市教学仪器有限公司、宁波华光精密仪器有限公司、梧州奥卡光学仪器公司、宁波舜宇仪器有限公司、广州粤显光学仪器有限责任公司、麦克奥迪实业集团有限公司、重庆光电仪器有限公司。
本部分主要起草人：胡清、冯琼辉、曹义东、王艺、曾丽珠、李晞、杨广烈、王国瑞、徐利明、张景华、胡森虎、李弥高、肖倩、夏硕。
本部分所代替标准的历次版本发布情况为：
ZBY249.1—1984; —JB/T9341.1—1999。
II JB/T9341.1—2013
计量光栅 第1部分：术语
1范围
JB/T9341的本部分规定了与计量光栅相关的光栅、莫尔技术、光栅数显技术、参数和技术指标的术语和定义。
本部分适用于仪器仪表、机械制造和计量测试等领域中与计量光栅技术相关的标准制定、技术文件编制、教材和书刊编写及文献翻译等。
注：本部分中圆括号“（）”内，除作说明外，为可换用的词。
2光栅
2.1
光栅grating 表面具有大量按一定规律密集排列的刻槽或线纹的光学零件。
2.2
栅线gratingline 光栅分划线的简称。是组成光栅的明暗线纹。如图1所示。一条暗栅线与一条明栅线构成一个线对
（如不加说明，以下栅线即指暗线纹）。 2.3
栅线组 gratinglinegroup 在光栅接收窗口范围内全部栅线的集合，如图1所示。
栅线明栅线 暗栅线 接收窗口 栅线组 线对
1
图1
2.4
计量光栅 丹metrologygrating 用于计量工程的光栅。是测量长度、角度等几何量的标准元件。
2.5
衍射光栅diffractiongrating 利用光的衍射，使光色散而获得光谱的光栅。当单色光入射时，能以不同的角度衍射出多级次光波，
该现象可用光栅方程表达。 2.6
光栅方程 equation ofgrating
1 JB/T9341.1—2013
描述光栅衍射效应几何关系的数学表达式。公式（1）为光栅方程，其中各参量关系如图2所示。
d(sini±sinβm)=ma·
.(1)
.
式中： m-—衍射光的级次（m=0、土1、土2、土3、)；一形成亮条纹的光波波长。
元一 d i
一光栅栅距；一入射角（入射光与光栅平面法线的夹角）；
Bm 第m级衍射光线的衍射角。
0级 1级
m级
B
E
Ld
4 图2
2.7
直线矩形光栅linearrectanglegrating 栅线为直线，而栅线的法向截面形状为矩形或透过率（反射率）符合矩形规律的光栅。 闪耀光栅blazedgrating 截面具有锯齿状槽形的反射衍射光栅。控制槽形形状，能在特定的方向上、特定的光谱级和特定的
2.8
波长上获得最集中能量。这特定的波长就是闪耀波长。 2.9
黑白幅值光栅lineandspaceamplitudegrating 利用栅线的透光（反光）和不透光（不反光）效应进行工作的光栅。光波经光栅透射或反射后，产
生幅值变化，而不发生方向变化。 2.10
透射光栅 transmissiongrating 利用从明栅线上透射的光工作的光栅。透射光栅的发射元件和接收元件一般位于光栅异侧。
2.11
反射光栅 reflectivegrating 利用从明栅线上反射的光工作的光栅。反射光栅的发射元件和接收元件一般位于光栅同侧。
2.12
玻璃光栅 glass grating 在透明的玻璃基体上具有栅线的光栅。
2.13
金属光栅 册metalgrating 在金属基体上具有栅线的光栅。金属光栅属于反射光栅。
2.14
带状光栅 tape grating
2 JB/T9341.1—2013
在薄的金属带或其他介质表面具有栅线的光栅。带状光栅一般为反射光栅。最常见的是钢带光栅。
2.15
二维光栅 twocoordinategrating(planargrating) 在一个平面内，相互垂直的两个方向上都有栅线的光栅。图3为二维光栅的一种形式。
说明： d 一光栅栅距。
图3
2.16
镀铬光栅 册chromium-platedgrating 用镀铬的方法得到的栅线为铬线的光栅。
2.17
镀金光栅 丹gold-platedgrating 用镀金的方法得到的栅线为金线的光栅。
2.18
胶膜光栅 glue-coatinggrating 用明胶等感光膜作为基体的光栅。
2.19
机刻光栅 ruled grating 采用刻线机，用金刚石等刻刀所刻制的光栅。
2.20
光刻光栅 engraved grating 在光栅坏料上，涂上感光膜，通过光刻头，将模板上的线纹投影在感光膜上，并使其曝光，经显影
而得到的光栅。 2.21
母光栅（光栅模板） mothergrating 用来复制光栅或动态光刻中用作模板的光栅。
2.22
复制光栅 replica grating 用母光栅采用接触式或接近式曝光的方法所得到的光栅。
2.23
光栅尺 gratingbar 长光栅 flineargrating 计量光栅中，作为长度测量标准的光栅元件。
2.24
纵轴线 longitudinal axis ofgrating
3 JB/T9341.1—2013
为便于安装、调试和检测，在光栅尺上，用于确定光栅测量方向的基准线。此线一般可以栅线区的长边界线代替。 2.25
圆光栅rotarygrating 计量光栅中，作为角度测量标准的光栅元件。
2.26
光栅盘gratingdisk 一种圆光栅。呈圆盘状，其栅线位于光栅盘的平面上，如图4a）所示。
基圆线
b)
a)
图4
2.27
光栅环 gratingring 种圆光栅。呈圆环状，其栅线位于环的外圆柱面上，如图4b）所示。光栅环-一般采用金属作基
体。 2.28
基圆线basiccircleline 为便丁安装、调试和检测，在圆光栅上，与栅线分布中心同心、位丁栅线区内侧或外侧的圆环线，
如图4a）所示。 2.29
径向圆光栅（辐射形光栅） radial grating 所有栅线的延长线交于一点的圆光栅，如图5a）所示。
2
三
a)
b)
图5
2.30
切向圆光栅tangentialgrating 所有栅线的延长线切于一小圆的圆光栅，如图5b）所示。
2.31
扇形光栅fangrating 圆光栅的一种，栅线位于平面上，范围小于360°，形如扇子，如图6a）所示。
4 JB/T9341.12013
2.32
弧形光栅arcgrating 圆光栅的一种，栅线位于圆弧面的内侧或外侧，范围小于360°，形如瓦片的一部分，一般由带状
光栅黏贴而成，如图6b）所示。
UEIFHI
a)
b)
图 6
2.33
光栅副gratingpair 两块面对面叠合的光栅，构成光栅副，如图7所示。工作时，两块光栅相对移动，形成莫尔条纹的
移动。
指示光栅
主光橘
图 7
2.34
主光栅mastergrating 光栅副中，光栅尺和光栅盘（环）的统称，如图7所示。
2.35
指示光栅 index grating 光栅副中，与光栅尺和光栅盘（环）面对面叠合的光栅，如图7所示。
2.36
裂相指示光栅 fseparated-phaseindexgrating 刻有几组栅线，各组栅距相等，但各组之问栅线位置具有一定相位差的指示光栅。图8所示为4
裂相指示光栅。
90° 180° 270°
o
d+-
2nd+ 2d
3nd + 3d
说明： d- 一栅距；
任意整数。
图8
5