第30卷第2期 2010年6月
化学传感器 CHEMICALSENSORS
声表面波NO,传感器的研究进展秦圣林”，添勇1，曹丙庆1，赵建军1，李冬梅2
(1.防化研究院，北京102205)
(2.中国科学院微电子研究所，北京100029）
Vol. 30, No. 2 June.2010
摘要：NO,是一种主要的大气污染物，同时对人体健康也有较大的危害，针对其进行检测的传感器的研充和开发就显得十分重要。声表面波气体传感器具有便性、快速喇应、高灵敏度、高稳定性、低成本等特点，引起了国内外相关研究者的广泛关注。简要介绍了声表面波(SAW)气体传感器工作的基本原理、传感器敏感膜与NO,气体的作用机理以及SAW-NO，气体传感器的两种结构类型，综述了SAW-NO，气体传感器
常用的几种数感膜材料，并对SAW-NO，气体传感器的发展趋势做了展望。关键调：声表面波；NO，传感器；延遇线；谐振器；敏感膜
Researchdevelopmentof surfaceacousticwavesensorsforNOzgas
detection
Qin Mo-lin'", Pan Yong', Cao Bing-qing', Zhao Jian-jun', Li Dong-mei?(1. Research Institute of Chemical Defence, Beijing 102205, China)
(2. The Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
Abstract: NO2 pollutes the air seriously and is hamful to man's health. It is urgent and important to develop sen sors for NO, detection. Surface acoustic wave gas sensors have been studied widely because they have advantages of small size, fast response, high sensitivity, good stability and low cost. The principle of SAW gas sensors and the mechanism of reaction of sensitive film and NO, gas is introduced. Two sorts of structure of SAWNO, sensor and
several sensitive film materials are reviewed. The development trends of SA WNO, sensors are discussed. Key words: surface acoustic wave(SA W) ; NO, sensors; delay line ; resonator ; sensitive film
显得十分重要。
引言 0
NO2是一种主要的大气污染物，空气中的 NO,大多是由化工燃料(煤、燃油等)燃烧、汽车尾气排放和化工生产产生的。NO，可以通过和空气中的水汽或其它物质反应产生酸雨、烟雾等许多污染环境的物质，也是破坏臭氧层的主要因素之[1]。同时,NO,对粘膜刺激性很强,除与血红蛋白结合外，对心、肝、肾、造血组织等器官都有影响，对人体的呼吸器官有强烈刺激作用，使肺功能受到损害，严重危害人们的生存与健康(2)。因此，针对NO,气体检测的传感器的研究和开发就
从传感器的原理来分，检测NO，的传感器类型主要有电阻式半导体气体传感器(3-5]、电位型气体传感器16]、光纤气体传感器[7-9]、压电晶体微天平传感器l1o)、声表面波(SurfaceAcousticWave， SAW)气体传感器等。其中，声表面波气体传感器具有便携性、快速响应、高灵敏度、高稳定性、低成本等特点3],引起了国内外相关研究者广泛的关注。
SAW-NO,气体传感器及其检测原理
SAW-NO,气体传感器是通过NOz的吸附对 SAW的扰动导致的参数变化进行检测的。声表面
基金项目：国家重点基础研究发展计划资助项目（No.2009CB939703）
*通讯联系人，Email:qinmolin@hotmail.com 万方数据