第30卷第1期 2010年3月
化学传感器 CHEMICALSENSORS
声表面波阵列传感器研究进展刘岩，潘勇，曹丙庆，赵建军，秦要林
（防化研究院，北京102205)
Vol. 30, No. 1 Mar.2010
摘要：声表面波(SAW)阵列传感器具有许多独特的优点，目前已成为检测化学毒剂的重要手段之一；近年来，随着以SAW阵列传感器为主要技术的电子鼻的发展，使得SAW阵列传感器在食品检测、环境治理等
领域得到了广泛应用。对SAW阵列传感器的发展及其应用进行了综述。关键词：声表面波(SurfaceAcoustieWave,SAW)；阵列传感器；应用
Proceedingsofsurfaceacousticwavesensorarrays
Liu Yan', Pan Yong, Cao Bing-qing, Zhao Jian-jun, Qin Mo-lin(Research Institute of Chemical Defence, Beijing 102205,China)
Abstract: Surface acoustic wave (SA W) sensor array devices have many unique merits and are described as usable tools for the determination of chemical agents, In recent years, with the development of electronic nose, SAW sensor arrays are applied in the field of food quality detection and environment control. This paper reviews the proceedings
of SA W sensor arrays and their applications. Key words: SAW; sensor arrays; application
0引言
上世纪80年代人们开始认识到可以将传感器进行阵列化来进行化学分析，由此提出了化学阵列传感器这一概念!]。到了20世纪90年代传感器阵列技术开始受到更广泛的关注，SAW阵列传感器也成为研究的重要方向之一。
最早开展SAW阵列传感器研究的是华盛顿大学的一个实验组和美国国家海军实验室，他们对SAW阵列传感器的设计、涉及的化学信息等间题进行了研究(2-4),并提出了将模式识别方法应用到SAW阵列传感器中，用来选择传感器所需的膜材料，鉴别气体的种类，分析检测结果。进人21世纪后，SAW阵列技术已日趋成熟，特别是基于SAW阵列技术的电子鼻的出现使SAW阵列传感器被广泛应用到军事、农业、食品、环境等领域。同其它检测技术的联用使SAW阵列传感
基金项目：国家自然科学基金重点项目(10834010)
*通讯联系人，Email：ganglinliya@163.com 万方数据
器得到了更为全面的发展。SAW阵列传感器是一种较理想的毒剂检测装置，国内外已有许多将 SAW阵列传感器用于毒剂检测的报道。在此将对SAW阵列传感器在化学毒剂及其它领域中的应用进行简要介绍，对SAW阵列传感器的发展进行展望。
SAW阵列传感器 1
SAW阵列传感器是在原有SAW传感器基础上将多个镀有不同膜材料的气敏元件组成阵列，对多种气体进行检测。传感器可以输出一组与气体成分对应的响应数据，因为每种气体都有各自的变化规律曲线，对这些数据进行分析，即可识别出气体的种类和成分。来自阵列传感器的响应数据包含了较多的信息，为了能有效地对这些数据进行准确处理，通常将SAW阵列传感器同模式识别方法结合。