2011年第3期（总第15期）
质量技术监督研究
Quality and Technical Supervision Research
NO.3.2011 General No.15
触针式表面轮廓测量仪量值溯源方法研究
张建群，陈晓燕，王朝阳，林景星（福建省计量科学研究院，福建福州350003）
摘要：目前国内尚无开展检定或校准接触（触针）式表面轮席仪的计量检定规程或校准技术规范，致使无法对接触（触针）式表面轮席仪测量的二维形状、位置等参数的量值进行测源，福建省大、中型机械加工企业和检验机构的机械加工、产品检验领域又需要对接触（触针）式表面轮席仪量值测源，为确保开展接触（触针）式表面轮席仪量值溯源与检测数据准确可靠，根据接触（触针）式表面轮离仪工作原理与计量技术特性，研究提出接触（触针）式表面轮率仪计量性能的校准方法及其校准结果的不确定度评定方法，作为福建省在开展校准接触（触针）式表面轮廊仪的技术依据。
关键调：表面轮席测量仪：几何量：误差；校准；不确定度；评定
、概述
接触（触针）式表面轮廊测量仪（以下简称轮廊仪）一般由传感器、驱动器、电子信号处理装置、计算机、打印机等组成。其工作原理是：通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量，传感器通过锐利触针感受被测表而的几何形状变化，并转换成电信号。该信号经放大和处理，再转换成数字信号贮存在计算机系统的存贮器中。计算机对此原始轮廊进行数字滤波，并计算其参象数。主要用于测量各种机械零件素线形状和截面轮席形状。如：凸出量、曲面曲率半径、直线度、平行度、倾斜度、角度。特别对轮廊仪静态测量力、基准导轨直线度、轮垂直分量（Z轴）
示值误差、轮廉水平分量（X轴）示值误差、半径测量示值误差、半径测量重复性、角度测量示值误差、角度测量重复性等计量性能的校准。因此，本文将对轮噻仪静态测量力、基准导轨直线度、轮院垂直分量示值（7轴）误差、轮癌水平分量（X轴）示值误差、半径测量示值误差、半径测量重复性、角度测量示值误差、角度测量重复性等如何进行校准而给出校准方法研究与说明，并对其轮廓仪示值误差（轮廓垂直分量（Z轴）、轮廖水平分量（x轴）、半径、角度）的校准结果不确定度进行评定分析。
二、轮廓仪的校准
（一）校准项目与校准用标准设备
收稿日期：20110418
张建群，女，福建省计量科学研究院长度室，高级工程师
作者简介：
陈晓慈，女，福建省计量科学研究院长度室，工程师王朝阳，男，福建省计量科学研究院长度宝，高级工程师
林景星，男，福建省计量科学研究院阔量校准中心，高级工程师
.12· 万方数据