GB/T 33826-2017
玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法
Measurement of nanofilm thickness on glass substrate —Profilometric method
2017-12-01 实施
2017-05-31发布
前言
本标准按照 GB/T 1.1-2009 给出的规则起草。
本标准由中国科学院提出。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会（SAC/TC279/SC 1）归口。