ICS 71.040.99 Q 34
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T33826-2017
玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
MeasurementofnanofilmthicknessonglasssubstrateProfilometricmethod
2017-12-01实施
2017-05-31发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布 中华人民共和国
国家标准玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廊仪法
GB/T 33826—2017
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中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号(100029) 北京市西城区三里河北街16号（100045）
网址www.spc.net.cn
总编室：(010)68533533发行中心：(010)51780238
读者服务部：(010)68523946 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷
各地新华书店经销
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开本880×12301/16印张1字数24千字 2017年6月第一版2017年6月第一次印刷
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书号：155066·1-56567定价 18.00元 GB/T33826-—2017
前 言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国科学院提出。 本标准由全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会（SAC/TC279/SC1)归口。 本标准主要起草单位：中国建筑材料科学研究总院、漳州旗滨玻璃有限公司、宣城晶瑞新材料有限
公司、冶金工业信息标准研究院。
本标准参加起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中国建材检验认证集团（陕西)有限公司、广东中科华大工程技术检测有限公司、哈尔滨量具刃具集团有限责任公司量仪研究所。
本标准主要起草人：孟政、刘静、候英兰、徐勇、戴石锋、汪洪、梁慧超、张继军、张庆华、代铮、张卫星、 赵晋武、郎岩梅。
I GB/T338262017
玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法
1范围
本标准规定了用触针式轮廊仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求步骤及测试报告等。
本标准适用于玻璃衬底上厚度在10nm1000nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T29505硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
掩模 mask 选择性地阻挡辐照或物质穿透的掩蔽模板。
3.2
化学蚀刻 』chemicaletching 利用表面材料在特定介质或特定环境下与腐蚀液发生化学反应而移除的技术，
4原理
通过覆盖掩模或者化学蚀刻等手段在薄膜表面与玻璃衬底表面之间形成一个台阶，如图1所示。
触针式轮廊仪的触针沿被测表面从A运动到B（或从B运动到A），同时采集表面轮廊数据，根据采集的数据计算台阶高度从而得到薄膜厚度。
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