总第185期 2012年4月
文章编号：10099700(2012)02000703
南方金属 SOUTHERN METALS
Sum.185 April2012
1J22合金材料应用于溅射垂直磁记录薄膜的尝试
陈远星，刘志坚，黄伟嘉
（广东省钢铁研究所，广东广州510640）
摘要：1J22合金带作为射靶材的一种尝试，充分利用1J22合金冷轧带材产品具有高饱和磁感应强度、高居里均勾、磁性能较好，用于垂直磁记录的薄膜，可以替代其它FeCo和FeNi合金靶材，成为更加理想的垂直磁记录溅射靶材.
关键词：1J22合金：射乾材；垂直磁记录薄膜；磁性能；居重温度
中图分类号：TB331
文献标识码：A
1J22magneticalloyusedasasputteringtargetmaterialin
fabricating perpendicular magnetic recording films
CHEN Yuan-xing, LIU Zhi-jian, HUANG Wei-jia
(Guangdong Institute for Iron and Steel,Guangzhou 510640, Guangdong)
Abstract : Possessing high saturation magnetic flux density, high Curie temperature and highly pure and homogeneous com-position, the cold-rolled 1J22 magnetice alloy strip was attempted as a sputtering target material in fabricating perpendicula recording films. The alloy was superior to the FeCo one made by powder method in fabricating this kind of recording films, due to the high purity and homogeneous composition of the former. Films with good magnetic performance and homogeneous composition for perpendicular magnetic recording could be fabricated by means of the 1J22-sputtering method; and it was shown that the 1J22 alloy, used as a sputtering target alloy, could be substituted for FeCo and FeNi alloys in fabricating perpendicular magnetic recording films
Key words: 1J22 alloy; sputtering targets; perpendicular magnetic recording thin film; magnetic performance; Curie tem perature
0前言
近年来随着磁记录密度的急剧增高和磁性薄膜感应器的日益小型化、高性能化的发展，硬盘记录头和薄膜感应器等磁性器件市场对于高饱和磁通密度薄膜的需求日益增长[]
以Fe基、Co基和FeNi基的磁性纳米晶软磁合金膜，具备高电阻率、高饱和磁感应强度及宽频带范围的高磁导率特性，是较为理想的软磁薄膜材料[2].但Fe基磁性合金的居里温度较低、FeNi基合金的饱和磁感应强度Bs和电阻率β较低，因此在高密度磁记录中，Fe基、FeNi合金的应用受到了限制.
收稿日期：2011-1126
在已知的材料中,FeCo合金具有更高的居里温度和高饱和磁感应强度，为了满足在高密度磁记录中的应用，用结晶性极高的FeCo合金制作软磁薄膜
FeCo基软磁材料具有较高的饱和磁化强度、磁导率、较低的矫顽力以及损耗小等特点，FeCo合金在耐热性、耐磨损、抗腐蚀等方面具有比较好的性质.因此在航空、航关、航海、军事和民用等领域得到了广泛的应用.铁钴合金的居里温度随其钴含量的增加而提高.含50%Co时合金居里温度最高，约为 980℃[3],
所谓垂直记录，就是代表信息的永久小磁体的磁化方向垂直于记录介质的平面.这种介质膜相邻
作者简介：陈远星（1973－），男，1996年毕业于昆明理工大学钢铁冶金专业，工程师，