YS/T 983-2014
多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
2015-04-01 实施
2014-10-14 发布
本标准按照 GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）归口。
1范围
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。检测范围为体积分数 0.1%～100%。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 7445 纯氢、高纯氢和超纯氢
GB/T 8979 纯氮、高纯氮和超纯氮