YS/T 986-2014
晶片正面系列字母数字标志规范
Specification for serial alphanumeric marking of the frort su-face of wafers
2014-10-14发布
2015-04-01实施
前 言
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用 SEMI M12-0706《晶片正面系列字母数字标志规范》。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）归口。
1 目的
1.1本标准规定了硅片或其他半导体晶片上一串连续的包括字母和数字的标记。该编号标记及关联信息被储存入数据库，对每个硅片起到了在硅片和器件制造期间追溯和控制的目的。
1.2 本标准定义了晶片标记的基本编码规定。无需处理晶片，利用简单的自动光学字符识别设备就可以对该标记进行独立和快速人工识别，确保了硅片制造商对晶片标记的一致性，有利于监控晶片工艺的变化。
1.3 本标准适用于广泛的晶片产品，如外延片、SOI 片、抛光片等。
2 范围