YS/T 987-2014
氯硅烷中碳杂质的测定方法甲基二氯氢硅的测定
Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane— Determination of methyldichlorosilane
2015-04-01 实施
2014-10-14 发布
本标准按照 GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）归口。
1 范围
本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法，主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。
本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为 0.000 01%～1.00%。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 4844.3 高纯氮
3 方法原理