YB/T 4590-2017
硅材料用高纯石墨制品中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法
Determination of multi-element contents in high purity graphite used for silicon material—Inductively coupled plasma atomic emission spectrographic method
2017-10-01实施
2017-04-12发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由中国钢铁工业协会提出。
本标准由全国钢标准化技术委员会（SAC/TC 183）归口。
1 范围
本标准规定了电感耦合等离子体发射光谱法测定多晶硅用高纯石愿墨制品中铝、钙、铜、铁、钾、镁、钠、磷、砷、锌、镍、铬、硼含量的方法。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T6682—2008 分析实验室用水规格和试验方法GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
3 原理
称取一定量的试样，放入马弗炉中，从室温加热到 980℃～1020℃，灰化完全。灰分经化学处理溶解，试样溶液引入电感耦合等离子体原子发射光谱仪，在选定的测定条件下，测定试液中各元素的含量。
4 试剂
4.1 实验用水应符合GB/T 6682—2008中规定的一级水的要求。
4.2 盐酸，o约1.19g/mL，每种金属杂质含量均低于100ng/L。
4.3 盐酸，1＋1。
4.4 单元素标准贮存溶液∶采用国内外可以量值溯源的有证标准样品，其质量浓度均为1000μg/mL。
4.5 混合标准溶液;分别移取1.00mL 硼、磷、钠、钾、铬、铝、钙、铜、锌、砷、镁、镍、铁单元素标准贮存溶液（见 4.4）置于100mL.全氟烷氧基树脂容量瓶中，加10mL盐酸（见4.3），加水稀释至刻度，摇匀，此溶液中各元素含量均为10μg/mL。