ICS 17.100 N 11 备案号：33679—2011
JB
中华人民共和国机械行业标准
JB/T 11206—2011
硅压阻式微型、薄型压力传感器
Silicon piezoresistive miniature and thin line pressure sensors
2011-08-15 发布
2011-11-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T 11206—2011
目 次
前言..
III
范围... 规范性引用文件.
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3术语和定义 4　产品分类. 4.．分类.. 4.2命名… 5基本参数.. 5.1测量范围 5.2按测量压力类型分类 5.3外形结构 5.4适用被测介质的类型.…. 5.5 安装方式及影响 5.6激励 5.7工作温度范围 5.8补偿温度范围……. 5.9贮存温度范围 6 要求. 6.1详细规范 6.2 外观…. 6.3 外形及安装尺寸 6.4输入阻抗 6.5输出阻抗 6.6绝缘电阻， 6.7绝缘强度.. 6.8 静态性能 6.9过载， 6.10 零点漂移 6.11 热零点漂移 6.12 热满量程输出漂移… 6.13 零点长期稳定性 6.14动态性能. 6.15环境影响特性 6.16疲劳寿命. 7试验方法… 7.1环境条件 7.2校准 7.3外观
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1 JB/T 11206—2011
7.4外形及安装尺 7.5输入阻抗 7.6输出阻抗 7.7绝缘电阻 7.8绝缘强度 7.9静态性能 7.10　过载， 7.11 零点漂移 7.12 热零点漂移 7.13 热满量程输出漂移. 7.14 零点长期稳定性 7.15 动态性能 7.16 环境影响试验 7.17　疲劳寿命 8检验规则.. 8.1检验分类 8.2出厂检验 8.3型式检验 9标志、包装、运输及贮存. 9.1　产品标志 9.2 包装 9.3运输和贮存附录·（规范性附录）传感器性能指标的计算方法． A.1 实际工作特性 A.2参比工作直线 A.3满量程输出值 YF.S A.4 非线性 A.5迟滞 SH. A.6 重复性 SR A.7 准确度 ... A.8零点漂移 dz. A.9零点长期稳定性 rz A.10　热零点漂移 α. A..1热满量程输出漂移..…. A.12振动对传感器零点影响Zo.. A.13外磁场对传感器输出的影响 Cc. 表 1传感器准确度等级、非线性、迟滞、重复性.… 表2热零点漂移和热满量程输出漂移，表3检验项目表 A.1校准循环次数与包含因子
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II JB/T 11206—2011
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会（CMIF/TC17）归口。 本标准起草单位：昆山双桥传感器测控技术有限公司、沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究
中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心。
本标准主要起草人：尤彩红、王冰、刘沁、刘波、王文襄、徐秋玲、匡石、李颖、李延夫。 本标准为首次发布。
III JB/T 11206—2011
3.4
筛网screen 为使传感器硅基力敏薄膜免受高速固体微粒侵入损伤及热光传导影响，紧靠薄膜前方安装的一薄层
筛状金属帽罩。筛孔形状可以是多种形式的。 4　产品分类 4.1分类
传感器的分类应符合 JB/T 6172 的规定。 4.2　命名
传感器的命名应符合 GB/T 7666的规定规范的第三级修饰语为“微型”、“薄型”；为表征产品特点的补充三级修饰语在产品详细规范中
规定。 5 基本参数 5.1测量范围
传感器的测量范围应符合产品详细规范的规定。除另有规定外，推荐从下列数字中选取： 0～±1×10″、0～±1.6×10″、0～±2×10″、0～±2.5×10″、0～±3×10″、0～±4×10″、0～±5×
10"、0～±6×10"、0～±8×10"
其中 n 为整数，n=0、±1、±2、士3、 测量范围的单位为帕（Pa）、千帕（kPa）、兆帕（MPa）。
5.2按测量压力类型分类
按测量压力分为绝压压力、表压压力、差压压力。 5.3外形结构 5.3.1外形及安装尺寸
传感器的外形及安装尺寸应符合详细规范的规定。 微型压力传感器的测压部外径推荐从下列数值中选取： 1 mm、1.5 mm、2 mm、2.5 mm、3 mm、3.5 mm、4 mm、5 mm、6 mm、8 mm、10 mm 若尾部有安装螺纹，螺纹规格推荐从下列数值中选取： M3、M4、M5、M6、M8、M10、M12。 薄型压力传感器的测压部厚度推荐从下列数值中选取： 1 mm、1.5 mm、2 mm、2.5 mm、3 mm、3.5 mm、4 mm、5 mm、6 mmo
5.3.2电气连接
传感器的电气连接方式应符合详细规范的规定。 5.3.3参考压力管
传感器的参考压力管应符合详细规范的规定。 5.3.4平衡补偿管
因外形尺寸限制，传感器的电桥平衡和补偿元件装不进去，需在线上外接平衡补偿管，平衡补偿管的外形尺寸和位置应符合详细规范的规定。 5.4适用被测介质的类型
详细规范应规定适用的被测压力介质的类型，如气体、液体、腐蚀性介质、非腐蚀性介质、导电性介质、非导电性介质。必要时，列出与被测介质相接触材料的名称、牌号。 5.5安装方式及影响
微型、薄型传感器整体刚度不高，易受安装影响，详细规范应给出优选的安装方式，规定安装力矩。
2 JB/T 11206—2011
5.6激励
当采用恒流源激励时，推荐使用的直流电流为 1.0 mA、1.2 mA、1.5 mA、2 mA、5 mA、10 mA。 当采用恒压源激励时，推荐使用的直流电压为 3V、5V、6V、9V、10V、12V、15V、18V、24V。
5.7工作温度范围
传感器工作温度的下限值优先从下列数值中选取：-60℃、-55℃、-45℃、-40℃、-30℃、-25℃、 -20℃、-10℃、0℃。
传感器工作温度的上限值优先从下列数值中选取：50℃、60℃、70℃、85℃、100℃、125℃、150℃、 200℃、250℃、300℃、350℃。 5.8补偿温度范围
传感器补偿温度的下限值优先从下列数据中选取：-55℃、-45℃、-25℃、-10℃、0℃、25℃ 传感器补偿温度的上限值优先从下列数据中选取：50℃、70℃、85℃、100℃、150℃、200℃。
5.9贮存温度范围
传感器贮存温度范围：-55℃～150℃。
6 要求 6.1详细规范
传感器性能应符合本标准和相关详细规范的规定。当本标准的要求与产品详细规范的要求不一致时，应以产品详细规范为准 6.2　外观
传感器的外观应无明显的瑕疵、划痕、锈蚀和损伤，安装螺纹部分应无毛刺。 6.3外形及安装尺寸
传感器的外形及安装尺寸应符合6.1 的规定。 6.4输入阻抗
传感器的输入阻抗应符合6.1的规定 6.5输出阻抗
传感器的输出阻抗应符合6.1的规定。 6.6绝缘电阻
传感器的绝缘电阻应符合6.1的规定 6.7绝缘强度（必要时）
传感器的绝缘强度应符合6.1的规定。 6.8静态性能 6.8.1零点输出
传感器的零点输出应符合6.1的规定。 6.8.2满量程输出
传感器的满量程输出应符合6.1的规定。 6.8.3非线性
传感器的非线性应符合表 1中相应准确度等级对应的非线性指标要求 6.8.4迟滞
传感器的迟滞应符合表1中相应准确度等级对应的迟滞指标要求。 6.8.5重复性
传感器的重复性应符合表 1中相应准确度等级对应的重复性指标要求。 6.8.6准确度
传感器的准确度应符合表1中相应准确度等级对应的准确度指标要求。
3 JB/T 11206—2011
表 1传感器准确度等级、非线性、迟滞、重复性非线性
迟滞 %F.S 0.025 0.05 0.10 0.25 0.5
重复性 %F.S 0.025 0.05 0.10 0.25 0.5
准确度 %F.S ±0.05 ±0.1 ±0.25 ±0.5 ± 1.0
准确度等级
%F.S 0.025 0.05 0.10 0.25 0.5
0.05 0.1 0.25 0.5 1.0
6.9过载
传感器的过载应符合6.1的规定。 6.10 ）零点漂移
传感器零点漂移应符合6.1的规定规定时间推荐从下列时间中选取：4 h、8 h、24 h、3d、5d。
6.11热零点漂移
传感器的热零点漂移应符合表2中相应准确度等级对应的热零点漂移指标要求。 6.12热满量程输出漂移
传感器的热满量程输出漂移应符合表2中相应准确度等级对应的热满量程输出漂移指标要求。
表2热零点漂移和热满量程输出漂移
热零点漂移 %F.S/℃ ±0.01 ± 0.02 ± 0.03 ± 0.05 ± 0.08
热满量程输出漂移
准确度等级
%F.S/℃ ±0.01 ± 0.02 ±0.03 ±0.05 ±0.08
0.05 0.1 0.25 0.5 1.0
3零点长期稳定性
6.13
在规定的半年或一年时间内，传感器零点长期稳定性应符合6.1的规定。 6.14动态性能 6.14.1频率响应（必要时）
在被测压力信号频率在5kHz 以下时，在规定的被测量范围内，对加在传感器上的正弦变化的测量来说，输出量与被测量辐值之比及输出量和被测量之间相位差随频率的变化为频率响应。必要时传感器的频率响应应符合6.1的规定。
在被测压力信号频率在5kHz 以上时，输出量与被测量之比及输出量和被测量之间相位差随频率的变化为频率响应，亦称可使用频率上限，一般规定为传感器谐振频率的 1/3～1/5，压阻动态压力传感器的下限可使用频响（响应频率）为零赫兹。 6.14.2谐振频率
传感器谐振频率应符合6.1的规定 6.14.3振铃频率（自振频率）
传感器的振铃频率应符合6.1的规定。
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