JJF（鄂）34-2017
洁净工作台校准规范
Calibration Specification of Clean Bench
2017-06—01 实施
2017—03—30发布
目 录
引言………………………………………………………………………………………………………………（1）
1 范围…………………………………………………………………………………………………………（1）
2 引用文件………………………………………………………………………………………………………………（1）
3 术语……………………………………………………………………………………………….……（1）
4 概述……………………………………………………………………………（2）
5 计量特性………………………….……………………………………………………（2）
5.1下游泄漏粒子浓度………….………………………………………………………………………（2）
5.2 空气洁净度……………………………………………..……………（3）
5.3 风速…………………………………………………………………………………………………………（3）
5.4 照度………………………………………………………………………………………………………………（3）
5.5 噪声……………………………….…………………………………………………………………………….（3）
6 校准条件………………………………………………………………………………….……………………（3）
6.1 环境条件…………………………………….…………………………………………………………（3）
6.2主要设备及其他设备…………（3）
7 校准项目和校准方法……………………………………………………………………………….（3）
7.1校准前的检查…………………………………………………………....……….（3）
7.2 校准项目……………………………………………………………………………………….…………（4）
7.3 校准方法………………………………….……………………………………………………………….………………（4）
8 校准结果表达……………………………………………………………………………….………（7）
9 复校时间间隔……………………………………………………………………………………………………………（7）
附录A测量不确定度评定示例….………（8）
附录B 校准原始记录格式…………………………………（10）
附录 C 校准证书内页格式（第 2页）.……………………………………………..………….…（11）
附录 D 校准证书校准结果页格式（第 3 页）………………….………….………..…………..……（12）