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JJF(鄂) 34-2017 洁净工作台校准规范

资料类别:行业标准

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资料语言:中文

更新时间:2023-12-23 15:04:47



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内容简介

JJF(鄂) 34-2017 洁净工作台校准规范 JJP
湖北省地方计量检定规范
JJF(鄂)34-2017
洁净工作台校准规范
Calibration Specification of Clean Bench
2017—03—-30发布
2017-06-01实施
湖北省质量技术监督局 发布 JJF(鄂)34-2017
洁净工作台校准规范
JJF(鄂)34-2017
Calibration Specification of Clean Bench
本规范经湖北省质量技术监督局于2017年03月30日批准:并自 2017年08月01日起施行
归 口 位:湖北省质量技术监督局
主要起草单位:武汉市计量测试检定(研究)所
本规范电武汉市计量试检定(研究)所负贵解箱 JF(鄂)342017
本规范主要起草人:
艾翔(武汉市计量测试检定(研究)所)张兰珍(武汉市计量测试检定(研究)所)
参加起草人:
石渝桥(武汉市计量测试检定(研究)所)
王英(武汉市计量测试检定(研究)所) JF(鄂)342017
目录
引言 1 花圆。 2 引用文件。 3 术语. O 概述。
(11) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (3)
28800
o
计量特性 5. 1 下游准漏粒子浓度 5.2 空气洁净度 5.3 风速 5.4 服度。 5.5 嗓声。 6 校准条件 6.1 环境条件 6.2 主要设备及其他设备 1
?
e
(3) (3) (3) (3) (3) (3) (3) 20 (3) (4) (4) (7) (7) (8) (10) (11) (12)
校准项目和校准方法 7.1 校准前的检查 7.2 校准项目 7.3 校准方法 8 校准结采表达 9 复校时间闻隔. 附录A 测量不确定度评定示例附录B校准原始记景格式附景C校准证书内页格式(第2页)附录D校准证书校准结果页格式(第3页)
1 JF(鄂)34-201T
引言
本规范依据国家计量技术规范JJF1071—-2010国家计量校准规范编写规则》、 JJF1001-2011《通用计量术语及定义》,JF1059.12012测量不确定度评定与表示》编制。
本规范是首次制定。
放 JF(鄂)34-2017
洁净工作台校准规范
1 慈園
本规范适用于单向流活净工作台的计量性能校准。
2 引用文件
本规范引用下列文件: JJF1071-2010国家计量校准规范编写规见 JJF1001-2011通用计量术语及定义 JJF1059.1-2012规量不确定度评定与表示 GB/T25915.1-2010/IS014644-1:1999洁净室及相关受控环境第1部分:空气洁净度等级 CB/T25915.3-2010/S014644-3:2005洁净蜜及相关受控环境第3部分:检别方法 GB4793.1 《别量、控制和实验室用电气设各的安全要求》第1部分:道用要求 JG/T292-2010 《洁净工作台》 凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本境用于该规落:凡是不注日期的引用文
件,其录新版本(包括所有的修改单)适用于本规蔻:
3术调
3.1粒子浓度particleconcentration
在规定的采样流骨和采样时闻内,被测空气单位体积中存在的不小于制定粒径的高散粒子的个。 32洁净度等级cleanlineas classification
1 JJF(号)34-2017
以ISON级衰示的洁净室成洁净区内按空气最浮粒子兼度划分的洁净度水平(成规定确定该水平的过程),洁净度等级代衰关注粒径粒子的最大允许放度(表
示为每立方米空气中的粒子个数)。
麦1清净区空气清净度整数等级大于成等于关注粒径的粒子最大液度限值/(个/)
ISO等级N
0. 1μnn 0. 2pgm 0. 3ynt 0. 5pans 1,unm 5pt 10
ISO1级 ISO2级 1803饭 1804级 1SO5摄 100000 23 700 10200 3520 1$06级
2 24 237 2370
1
100 1000 10000
4 35 352
-
10 102 1 020
8 83 832 8320
-
29 293 2930
1000000 237000 102000 35200
1SO7级 1SO8级 1509袋注:按测盘方法相类的不确定要衣,确定导级水平的孩度数据的有教最字不想过3位
352000 83 200 3 520 000 832000 29300 35 200 000 8320000 293 000

概递
4
洁净工作台由机笔、高效过游器、可变风尽送风机组、中效过涤器、工作台面,电馨控制等儿大部件组成。
洁净工作台采用了直接控制方式,设有风机开关,明开关,禁外灯开关,直接控制设备:
5计量特性
5.1下游没漏粒子度
上游粒子(大气尘或成人工尘)浓度满足>0.5um的粒子浓度不小于4000个/时,下游温漏粒子效度不大于3个几
2 JJF(鄂)34-2017
5.2空气洁净度
操作区空气洁净度级别为ISO5级或优于ISO5级。
5.3风速
操作区平均风速应在(0.2~0.5)m/s范围内。 5.4照度
操作区台面上的平均照度(无背景照明)的测量结果应不小于3001x。 5.5噪声
距台面中心水平向外300mm,高度约为1100mm处的整机噪声(扣除背景噪声)不大于65dB(A)。
6校准条件
6.1环境条件
6.1.1环境温度:(20±10)°C。 6.1.2相对湿度:(30~75)%。 6.1.3电源电压:(220±22)V,(50±1)Hz。 6.2主要标准器及其他设备 6.2.1主要标准器: a)尘埃粒子计数器:测量粒子范围(0.1/0.3~10)μm,取样流量不低于2.83L/min,粒子浓度测量重复性不大于10%FS,粒子浓度测量最大允许误差:±30%FS,粒径分布测量最大允许误差:±30%; b)热球式风速仪:准确度优于10%FS; c)照度计:测量范围(0.1~1000)1x的二级照度计; d)声级计:测量范围(40~100)dB(A)的二级声级计 6.2.2其他设备多分散气溶胶发生器:多分散发生气溶胶,发生浓度可调,一般应大于104个/L。
7校准项目和校准方法
7.1校准前的检查
3
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