ICS 13.040.35
GB CCS C 70
中华人民共和国国家标准
GB/T 25915.10—2021/ISO 14644-10:2013
洁净室及相关受控环境 第 10 部分∶按化学物浓度划分表面洁净度等级
Cleanrooms and associated controlled environments—
Part 10:Classification of surface cleanliness by chemical concentration
(ISO 14644-10:2013,IDT)
2021-08-20发布
2022-03-01实施
国家市场监督管理总局发布
国家标准化管理委员会
GB/T 25915.10—2021/ISO 14644-10:2013
洁净室及相关受控环境 第 10部分∶按化学物浓度划分表面洁净度等级
1 范围
本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质（包括分子、离子、原子、颗粒物）存在情况的表面洁净度分级系统。
本文件活用干洁净室及相关受控环境中所有表面，如墙面。顶棚.地面。工作环境。工且.，设各和
装置。
注 1;本文件仅考虑微粒子的化学性质，未考虑微粒子的物理性质。本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。注 2∶本文件不涉及污染产生的过程，不涉及与时间有关的影响因素（沉降、沉积、老化等）以及与过程有关的活动
（如转移、处理等），也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 25915.6 洁净室及相关受控环境 第6部分∶词汇（GB/T 25915—2010，ISO14644-6∶2007，IDT)
注∶ISO14644-6∶2007 已废止，我国仍保留与之对应的国家标准。
3 术语和定义
GB/T 25915.6界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1
按化学物浓度划分空气洁净度 air cleanliness by chemical concentration;ACC
给定的某种或某组化学物质最大允许浓度，用ISO-ACC N级表示，单位为克每立方米（g/m³）。注∶本定义不包括生物大分子，生物大分子视为微粒子。3.2
污染物类别 contaminant category
沉积在关注表面时有特定和类似危害的一组化合物的统称。3.3
化学污染 chemical contamination
对产品、工艺或设备有害的化学物质（非微粒子）。3.4
固体表面 solid surface 固相与另一相之间的界面。3.5
表面 surface 两相之间的界面。