ICS 13.040.35 CCS C 70
中华人民共和国国家标准
GB/T 25915.8—2021/ISO 14644-8:2013
代替GB/T25915.8—2010
洁净室及相关受控环境
第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级
Cleanrooms and associated controlled environments—
Part 8:Classification of air cleanliness by chemical concentration(ACC)
(ISO 14644-8:2013,IDT)
2022-03-01实施2021-08-20发布
国家市场监督管理总局发布
国家标准化管理委员会
GB/T 25915.8—2021/ISO 14644-8:2013
洁净室及相关受控环境
第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级
1 范围
本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质（种、组或类）的浓度，对空气化学污染进行分级。同时，本文件分级技术要求，给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。本文件目前只考虑洁净室运行工况下空气中10°g/m3～10~10~202的化学污染物浓度。本文件不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、工艺和生产。
本文件无意探讨空气化学污染物的特性。本文件不包含对表面化学污染的分级。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 25915.6 洁净室及相关受控环境 第 6 部分：词汇（GB/T 25915—2010，ISO 146146：2007,IDT)
注：ISO14644-6：2007已废止，我国仍保留与之对应的国家标准。
3 术语和定义
GB/T 25915.6界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1 一般术语3.1.1
化学污染物 chemical contamination 危害产品、工艺、设备的非颗粒物质。3.1.2
按化学物浓度划分空气洁净度 air cleanliness by chemical concentration；ACC
以ISO-ACC表示的代表给定的某种或某组化学物种类、以克每立方米为单位的最大允许浓度。注：生物大分子归为粒子，不包含在本定义中。3.1.3
空气化学污染 air chemical contamination
存在于空气中、其化学特性可对产品、工艺、设备有不良影响的任何物质。
GB/T 25915.8—2021/ISO 14644-8:2013 3.1.4
按化学物浓度划分表面洁净度 surface cleanliness by chemical concentration；SCC 以化学物浓度所表示的表面洁净度状况。3.1.5
表面化学污染物 surface chemical contamination
存在于表面上、因所具有的化学特性可对产品、工艺、设备有不良影响的任何物质。3.1.6
污染物类别 contaminant category
沉积在关注表面时有特定和类似危害结果的一组化合物的统称。3.1.7
释出气体 outgassing
从材料中释放出气态或蒸汽态分子物质。3.1.8
按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级 aircleanliness by chemical concentration（ACC）class 表示给定的某种化学物或某组化学物的最大允许浓度、以克每立方米为单位的等级数字。注1：最大允许浓度规定见表1，或按4.2中的等式标定N。注2：本文件的分级仅限于0级（最差）～—12级（最佳）。
注3：ACC等级数字只有与规定的相应化学物或成组化学物类别的ACC描述符一起使用时才有效。
注4：空气化学物洁净度级别负号（一1～—12）是注明ACC等级数字N的组成部分。空气化学物洁净度不得没有
负号（0级除外）。
注5：ISO分级可以是小数点后保留1位数字的非整数字。3.2 污染物类别3.2.1
酸 acid
化学反应特性为接受电子对并建立新化学键的物质。3.2.2
碱 base
化学反应特性为给出电子对并建立新化学键的物质。3.2.3
生物毒素 biotoxic
危害生物、微生物、生物组织或细胞个体生长与存活的物质。3.2.4
可凝聚物 condensable
可在洁净室运行状态下因凝结而沉积在表面上的物质。3.2.5
腐蚀剂 corrosive
使表面产生破坏性化学变化的物质。3.2.6
掺杂物 dopant
经产品本体吸收或（和）经扩散后与本体合为一体，即使为微量亦可改变材料特性的物质。