ICS 13.040.35
GB CCS C 70
中华人民共和国国家标准
GB/T 25915.12—2021/ISO 14644-12:2018
洁净室及相关受控环境 第 12 部分∶监测空气中纳米粒子浓度的技术要求Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12:Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
(ISO 14644-12:2018,IDT)
2022-05-01实施2021-10-11发布
国家市场监督 管理总局发布
国家标准化管理委员会
GB/'T 25915.12—2021/ISO 14644-12:2018
洁净室及相关受控环境 第 12部分∶监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
1 范围
本文件给出了监测粒径限值不超过0.1 μm（100 nm）的"纳米尺度"粒子浓度的技术要求。本文件给出的监测技术要求主要用于"动态"。
注1;本文件提及的"纳米尺度粒子"是指所有在1维上（纳米片）、2维上（纳米纤维）或3维上（纳米粒子）具有纳米
尺度的纳米物质。
注 2∶请注意，洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。注 3∶本文件未考虑健康与安全事项。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
ISO和IEC 在以下网址维护用于标准化的术语数据库;
——IEC Electropedia∶可从 https∶//www.electropedia.org/获取;———-ISO在线浏览平台∶可从https∶//www.iso.org/obp获取。3.1 通用3.1.1
洁净室cleanroom
空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进人。产生。滞留于房间的粒子受控。
注 1;规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。
注 2;也可对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物，微生物或纳米尺度航子浓度等.以及影响表而洁净度
等级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制。注3∶温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数，也可按要求受控。【来源∶GB/T 25915.1—2021，3.1.1】3.1.2
洁净区 clean zone
空气悬浮粒子计数浓度受控并分级的限定空间。其建造和运行使进入、产生和滞留于空间的粒子受控。
注 1∶空气悬浮粒子浓度的级别已确定。
注2∶也可 以对影响清淮等级的l他因素，如空气中化学物.微生物或纳米尺度粒浓1等。以及影响表面洁净
度等级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制。