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GB∕T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级

资料类别:国家标准

文档格式:PDF电子版

文件大小:24839 KB

资料语言:中文

更新时间:2022-03-29 08:36:01



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内容简介

GB∕T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级 ICS 13.040.35
GB CCS C 70
中华人民共和国国家标准
GB/T 25915.1-2021
代替GB/T25915.1—2010
洁净室及相关受控环境 第 1部分∶按粒子浓度划分空气洁净度等级
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 1:Classification of air cleanliness by particle concentration
(ISO 14644-1:2015,MOD)
2022-03-01实施
2021-08-20发布
国家市场监督管理总局发布
国家标准化管理委员会
GB/T 25915.1-2021
洁净室及相关受控环境 第1部分∶按粒子浓度划分空气洁净度等级
1 范围
本文件规定了按空气中悬浮粒子浓度划分洁净室、洁净区、GB/T25915.7 所述的隔离装置中的空气洁净度等级。
本文件适用于粒径挡下限为0.1 μm~5 μm 的颗粒物累积计数分布及其粒子浓度的监测。超细粒子(<0.1 μm)的浓度将在纳米尺寸粒子空气洁净度标准中规定。在指定采样点,规定使用光散射(离散式)空气悬浮粒子计数器(LSAPC)判定大粒子(>5 μm)的粒子浓度,用 M 描述符对其量化。
本文件不适用于表征空气悬浮粒子的物理性、化学性、放射性、生物活性或其他特性。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T25915.2—2021 洁净室及相关受控环境 第 2 部分∶洁净室空气粒子浓度的监测(ISO 14644-2:2015,IDT)
GB/T25915.7 洁净室及相关受控环境 第7部分∶隔离装置(净化空气台、手套箱、隔离器和微环境)(GB/T 25915.7—2020,ISO14644-7∶2004,IDT)
GB/T29024.4—2017 粒度分析 单颗粒的光学测量方法 第 4 部分∶洁净间光散射尘埃粒子计数器(ISO 21501-4∶2007,IDT)
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1 基本3.1.1
洁净室 cleanroom
空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间,其设计、建造到运行均使进入、产生、滞留于房间的粒子受控。
注1;规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。
注 2;也可对影响洁净度等级的其他因素,如空气中化学物,微生物或纳米尺康粒子浓度等,以及影咱表面洁净度等
级的其他因素,如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等,作出规定并进行控制。注3;温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数,也可按要求受控。
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