GB/T 25915.9-2018/ISO 14644-9:2012
洁净室及相关受控环境第9部分∶按粒子浓度划分表面洁净度等级
Cleanrooms and associated controlled environments- Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 1464-9:2012,IDT)
2018-06-07 发布
2018-10-01实施
GB/T25915《洁净室及相关受控环境》包含10个部分∶
——第1部分∶按粒子浓度划分空气洁净度等级;
——第2部分;证实持续符合GB/T25915.1的监测和定期测试技术条件;
——第3 部分∶检测方法;—第4部分∶设计、建造和启动;第5 部分∶运行;
——第6部分∶词汇
——第7部分∶隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）∶
——第8部分∶按化学物浓度划分空气洁净度等级;
——第9部分∶按粒子浓度划分表面洁净度等级;
——第10部分∶按化学物浓度划分表面洁净度等级。
本部分为GB/T25915的第9部分。
本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。