GB/T 38518-2020
柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法
Measurement of coating thickness on flexible fim substrate
2021-02-01实施
2020-03-06 发布
前 言
本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会（SAC/TC57）归口。
1 范围
本标准规定了柔性薄膜基体上涂层（包含有机、无机与金属涂层）厚度扫描电子显微镜测量的基本方法及原理、标准样品和仪器设备、操作方法、数据处理的方法。
本标准适用于厚度不大于3 mm 的柔性薄膜基体上厚度为10 nm～0.5 mm 的涂层的厚度测量。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 20307—2006 纳米级长度的扫描电子显微镜测量方法通则
3 基本方法及原理