GB/T 34898-2017
微机电系统（ MEMS）技术MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
2018-05-01 实施
2017-11-01 发布
前言
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口。
本标准起草单位∶北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心。